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公开(公告)号：CN104195644B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410361090.7
申请日：2014-07-27
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 一种单晶硅衬底亚微米金字塔结构激光?化学制备方法，属于晶硅表面微结构制备领域。本发明首先对单晶硅进行预处理并在其表面覆盖周期密排的微球；采用248nm激光器进行辐照，单脉冲能量密度100mJ/cm2?400mJ/cm2；辐照后对单晶硅样品进行一定处理去除表面残留的微球；去除结束后，将其浸入含有乙醇的氢氧化钠水溶液中，水浴温度70?80℃环境中，腐蚀10s?30s，取出使用去离子水清洗，得到具有正金字塔阵列的单晶硅片，本发明发挥了激光可控性，能够快速、简便的制备具有周期性及均一性的金字塔阵列，并且对金字塔成形具有高可控性，能够对金字塔阵列的间距以及形貌特征进行调控，同时所用原料低廉，具有较高的实用性。
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公开(公告)号：CN104195644A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410361090.7
申请日：2014-07-27
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 一种单晶硅衬底亚微米金字塔结构激光-化学制备方法，属于晶硅表面微结构制备领域。本发明首先对单晶硅进行预处理并在其表面覆盖周期密排的微球；采用248nm激光器进行辐照，单脉冲能量密度100mJ/cm2-400mJ/cm2；辐照后对单晶硅样品进行一定处理去除表面残留的微球；去除结束后，将其浸入含有乙醇的氢氧化钠水溶液中，水浴温度70-80℃环境中，腐蚀10s-30s，取出使用去离子水清洗，得到具有正金字塔阵列的单晶硅片，本发明发挥了激光可控性，能够快速、简便的制备具有周期性及均一性的金字塔阵列，并且对金字塔成形具有高可控性，能够对金字塔阵列的间距以及形貌特征进行调控，同时所用原料低廉，具有较高的实用性。
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公开(公告)号：CN103227237A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310084670.1
申请日：2013-03-15
Applicant: 北京工业大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了晶硅太阳能电池表面绒层和隔离层的激光一次成型方法。本发明包括以下步骤：1.清洗晶硅硅片；2.制备表面绒层：氩气氛围下用透镜聚焦后的激光器光源扫描硅片表面，形成具有硅微粒和微凹陷的绒层。3.制备隔离层：采用同步送氧气，继续用激光扫描黑硅的边缘，得到二氧化硅隔离层。本发明的有效增益如下：表面绒层和绝缘层可一次成型；仅在氩气氛围下即可制备表面绒层，条件易满足，且得到的绒层250nm～1050nm波段的光反射率在10%以下；提出了绒层和隔离层在同一层面的晶硅太阳电池新结构，隔离层的制备提高了表面绒层利用率；表面绒层和隔离层制备，只涉及氩气和氧气，绿色环保。
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公开(公告)号：CN105931953A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610312525.8
申请日：2016-05-11
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01L21/268
CPC classification number: H01L21/268
Abstract: 本发明涉及一种碳化硅表面微结构白光发光图案的加工方法，该方法包括：使用皮秒激光对原材料进行扫描辐照，得到具有特定波纹状表面微结构图案；再使用紫外光辐照微结构图案获得激发的白光发光。本发明的有益效果为：激光能量、离焦量和扫描次数等参数的组合可以实现对SiC表面白光发光图案发光光谱较高的可控性，能在一定范围内对其发光光谱进行调制，实现接近太阳光的白光发光；采用编程语言及脚本语言，如VBScript脚本程序设计激光直写扫描路径，实现任意指定图案的激光直写，控制制备白光发光图案的形状；使用的激光扫描系统可对加工图案进行精确定位，且扫描速度可达2000mm/s，便于进行批量、大面积的加工。
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公开(公告)号：CN103426736A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310271137.6
申请日：2013-06-30
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01L21/268 , H01L21/306
Abstract: 本发明公开了单晶硅倒金字塔绒面的激光化学次序可控制备方法。本发明包括以下步骤：1.激光扫描开孔定位：软件绘制所需制绒图形（CAD绘制），皮秒激光依照图形在清洗后的硅片表面进行扫描开孔，形成微米级倒锥形孔均匀分布的绒面；2.酸洗孔状绒面：先用HF酸漂洗，再进行蒸馏水清洗。3.酸洗孔状绒层：先用HF酸漂洗，再进行超纯水清洗。4.制备倒金字塔绒面：将酸洗后的样品放入配置好的碱性溶液中水浴加热，制备出微米级倒金字塔绒面。本发明省去了制备和去除掩膜工艺，代之以激光扫描开孔技术，制绒区域的大小和形状可通过软件（CAD）进行定制；在太阳光谱光子密集的400nm-700nm波段具有优异的减反效果，反射率达到了5%。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103551734B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201310518304.2
申请日：2013-10-28
Applicant: 北京工业大学
IPC: B23K26/36 , B23K26/402
Abstract: 一种使PTFE或FEP表面同时具备超疏水及水下高反光性质的方法属于激光加工领域。本方法利用1064nm皮秒激光微加工系统在PTFE、FEP表面加工出25μm缝宽的一维或二维沟槽阵列，使得其表面产生超疏水性，若将制备后的超疏水样品完全浸入水中，超疏水表面会呈现金属光泽高反光表面。本发明操作步骤如下：调节皮秒激光光路；利用专业软件绘制出加工路径；根据加工要求调整皮秒激光输出功率；当激光功率满足要求后，输出皮秒脉冲激光进行加工；加工完成后，无需后续清洗即可达到超疏水要求，制成品浸入水中可直接出现类金属高反光表面。
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公开(公告)号：CN104949959A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510406413.4
申请日：2015-07-12
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 一种大面积表面增强拉曼光谱单晶硅基底的快速制备方法，属于SERS衬底制备领域。本发明在单晶硅表面覆盖周期密排的微球阵列；采用激光扫描或辐照后去除表面残留的微球；然后浸入含有乙醇的氢氧化钠水溶液中，水浴温度70-80℃环境中，腐蚀10-30s，取出使用去离子水清洗，得到具有微结构阵列的单晶硅片，水溶液中，氢氧化钠的质量百分比为5％-10％，乙醇的质量百分比为8％-10％；利用磁控溅射在刻蚀后的单晶硅表面进行银薄膜沉积，沉积厚度为50-200nm。本发明能够快速、简便的制备具有周期性及均一性的微结构阵列，通过对微结构阵列形貌尺寸特征及银膜厚度的控制，可以对SERS衬底的性能进行调控。同时，该方法重现性高，成本较低，所制备出的SERS衬底性能稳定，可重复利用。
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公开(公告)号：CN103862179A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410090887.8
申请日：2014-03-12
Applicant: 北京工业大学
IPC: B23K26/364 , B23K26/402
CPC classification number: B23K26/40 , B23K26/18 , B23K26/364 , B23K2103/52
Abstract: 本发明公开了一种陶瓷表面精细结构激光加工方法，将光纤上的涂覆层剥离后铺设于陶瓷表面上；通过皮秒级脉宽激光对陶瓷表面上的光纤覆盖区进行扫描辐照，皮秒级脉宽激光通过陶瓷表面上的光纤引导产生局域光场增强效应，在陶瓷表面上加工出沟槽；根据步骤二中加工沟槽的情况设置激光器参数，使用皮秒级脉宽激光对陶瓷表面上铺设的光纤覆盖区进行扫描辐照，在陶瓷表面上加工出与光纤排布相同的精细凹槽阵列。本发明通过采用光纤引导皮秒级脉宽激光光束，实现在具有高熔点、高硬脆物理特性的陶瓷表面可以同时获得多条精细刻线，刻线边缘光滑无裂纹和热影响区，线径尺寸均匀，刻线尺寸突破聚焦光束最小直径限制。
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公开(公告)号：CN105931953B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201610312525.8
申请日：2016-05-11
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01L21/268
Abstract: 本发明涉及一种碳化硅表面微结构白光发光图案的加工方法，该方法包括：使用皮秒激光对原材料进行扫描辐照，得到具有特定波纹状表面微结构图案；再使用紫外光辐照微结构图案获得激发的白光发光。本发明的有益效果为：激光能量、离焦量和扫描次数等参数的组合可以实现对SiC表面白光发光图案发光光谱较高的可控性，能在一定范围内对其发光光谱进行调制，实现接近太阳光的白光发光；采用编程语言及脚本语言，如VBScript脚本程序设计激光直写扫描路径，实现任意指定图案的激光直写，控制制备白光发光图案的形状；使用的激光扫描系统可对加工图案进行精确定位，且扫描速度可达2000mm/s，便于进行批量、大面积的加工。
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公开(公告)号：CN103156811B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201310007327.7
申请日：2013-01-08
Applicant: 北京工业大学
IPC: A61K9/107 , A61K47/34 , A61K47/04 , A61K31/704 , A61K31/136 , A61K31/513 , A61K31/7056
Abstract: 本发明涉及一种具有磷酸钙壳的两亲性聚合物载药胶束的制备方法。该方法是将两亲性聚合物溶于二氯甲烷中形成聚合物溶液，该两亲性聚合物选自聚乙二醇-聚乳酸聚合物、聚天冬氨酸-聚乳酸聚合物、聚环氧乙烷-聚丙烯酸-聚苯乙烯聚合物或聚乙二醇-聚苯丙酸聚合物，再将pH为5.5～7.5的钙离子溶液和水溶性药物加入两亲性聚合物溶液中，超声3分钟，加入聚乙烯醇超声5分钟，得到包载钙离子的两亲性聚合物载药胶束，滴入pH值为8.5～9.5的磷酸盐溶液中，孵育20～60分钟，得到具有磷酸钙壳的两亲性聚合物载药胶束。本发明方法可用于多种两亲性聚合物构建磷酸钙壳且操作简便，耗时短。由本发明方法制备得到的胶束稳定性好，具有pH敏感性且无药物突释现象。
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