公开(公告)号：CN105931953B

公开(公告)日：2019-05-31

申请号：CN201610312525.8

申请日：2016-05-11

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 季凌飞 ,  王思聪 ,  吴燕 ,  胡莉婷 ,  闫胤洲 ,  蒋毅坚

IPC: H01L21/268

Abstract: 本发明涉及一种碳化硅表面微结构白光发光图案的加工方法，该方法包括：使用皮秒激光对原材料进行扫描辐照，得到具有特定波纹状表面微结构图案；再使用紫外光辐照微结构图案获得激发的白光发光。本发明的有益效果为：激光能量、离焦量和扫描次数等参数的组合可以实现对SiC表面白光发光图案发光光谱较高的可控性，能在一定范围内对其发光光谱进行调制，实现接近太阳光的白光发光；采用编程语言及脚本语言，如VBScript脚本程序设计激光直写扫描路径，实现任意指定图案的激光直写，控制制备白光发光图案的形状；使用的激光扫描系统可对加工图案进行精确定位，且扫描速度可达2000mm/s，便于进行批量、大面积的加工。

公开(公告)号：CN105931953A

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201610312525.8

申请日：2016-05-11

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 季凌飞 ,  王思聪 ,  吴燕 ,  胡莉婷 ,  闫胤洲 ,  蒋毅坚

IPC: H01L21/268

CPC classification number: H01L21/268

Abstract: 本发明涉及一种碳化硅表面微结构白光发光图案的加工方法，该方法包括：使用皮秒激光对原材料进行扫描辐照，得到具有特定波纹状表面微结构图案；再使用紫外光辐照微结构图案获得激发的白光发光。本发明的有益效果为：激光能量、离焦量和扫描次数等参数的组合可以实现对SiC表面白光发光图案发光光谱较高的可控性，能在一定范围内对其发光光谱进行调制，实现接近太阳光的白光发光；采用编程语言及脚本语言，如VBScript脚本程序设计激光直写扫描路径，实现任意指定图案的激光直写，控制制备白光发光图案的形状；使用的激光扫描系统可对加工图案进行精确定位，且扫描速度可达2000mm/s，便于进行批量、大面积的加工。