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公开(公告)号：CN114787427B
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN201980101030.2
申请日：2019-11-08
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 一种超疏水材料及其制备方法和应用。所述超疏水材料，其疏水表面由正表面能材料、负表面能材料和微纳米空隙组成。所述超疏水材料，通过在疏水表面引入负表面能材料和微纳米空隙设计，在不使用低表面能的有机物质的情况下，具有超疏水性能；并且，由于没有采用有机物质，所述超疏水材料具有较好的耐温和耐候特性，以及优异的耐磨和耐腐蚀特性。
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公开(公告)号：CN109504947B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201811627269.7
申请日：2018-12-28
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种CrN涂层、制备方法及应用，其中，CrN涂层为纳米孪晶结构。本发明采用筒形金属等离子体源结合磁控溅射技术，对金属离子的纯化和能量的精确控制，可实现高密度纳米孪晶结构在CrN陶瓷涂层中的生成。纳米孪晶结构能大幅提高CrN涂层的硬度。
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公开(公告)号：CN110846624A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911081661.0
申请日：2019-11-07
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供一种新型阳极层离子源，包括位于轴心位置的内阴极，环绕在所述内阴极外侧的外阴极，所述内阴极和所述外阴极之间的间隙为离子束流通道；均匀排列在内阴极与外阴极之间的永磁体；位于所述内阴极和所述外阴极之间且环绕所述内阴极的阳极环，开设在所述阳极环内的通气孔，开设在所述阳极环上且连通所述通气孔的通气狭缝，所述通气狭缝朝向所述离子束流通道。通过改变离子源的通气方式，减少工作气体与阳极接触，从而降低工作气体对阳极造成污染和附着物吹出造成对沉积涂层的污染。
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公开(公告)号：CN110923650B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN201911228670.8
申请日：2019-12-04
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开一种DLC涂层及其制备方法。本发明中，在高能脉冲偏压下，实现了沉积与注入结合的涂层生长方法，从而实现了涂层应力的控制。采用该方法制备DLC涂层，大幅降低了DLC涂层的应力，极大提升了DLC涂层的结合力。
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公开(公告)号：CN114086115A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111253591.X
申请日：2021-10-27
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开一种超硬TiC涂层及其制备方法。所述方法包括：步骤A、在第一偏压下对基底进行清洗；步骤B、在惰性气体气氛下对金属靶进行磁控溅射放电，采用第二偏压在所述基底表面沉积金属过渡层；步骤C、逐渐通入含C气体，对金属Ti靶和含C气体进行磁控溅射放电，采用第三偏压在所述金属过渡层表面沉积TiC涂层前驱体；步骤D、对所述TiC涂层前驱体进行退火处理，制备得到超硬TiC涂层。本发明中，高能粒子调控和离子轰击作用下，实现了具有纳米晶和非晶混合相结构的TiC涂层前驱体沉积，并通过退火处理，诱导产生了高密度位错，层错及超晶格等微观结构，这些独特的微观结构将TiC涂层材料的硬度提升到超硬状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109709201A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201811627273.3
申请日：2018-12-28
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种高时间分辨的质谱检测设备，包括依次电连接的电容模块、信号转换器以及质谱仪；所述质谱仪用于分析等离子体的粒子种类、能量；所述电容模块，用于接受待测试系统中的脉冲模拟信号，进行脉冲反相交换，并输出控制信号；所述信号转换器，用于确定数据采集的起始位置，进而获得一个脉冲内的等离子体质谱信号。本发明的高时间分辨的质谱检测设备可用于跟踪脉冲放电等离子体质谱信号，测试脉冲放电的瞬态等离子特性，进行等离子体诊断，研究普通质谱仪无法检测的瞬态过程。本设备成本低，且通过采用不同的溅射电源和溅射阴极能够很好地适应不同的放电要求。
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公开(公告)号：CN109708760A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201811629737.4
申请日：2018-12-28
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种高时间分辨的光谱检测设备及应用，其中，光谱检测设备包括光谱仪，以及与所述光谱仪电连接的单光子计数器；所述光谱仪包括：光信号采集模块、分光模块和信号增强模块；所述单光子计数器用于获得所述脉冲光源一个脉冲内的的光谱信号。本发明的光谱检测设备是一种结合了放大器与鉴别器的装置，集成了时钟和数据分析功能，能够跟踪脉冲放电等离子体演化过程的光谱信号，理论时间分辨率可达2 ns，可研究普通光谱仪无法检测的等离子体瞬态过程。
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公开(公告)号：CN109709201B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201811627273.3
申请日：2018-12-28
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种高时间分辨的质谱检测设备，包括依次电连接的电容模块、信号转换器以及质谱仪；所述质谱仪用于分析等离子体的粒子种类、能量；所述电容模块，用于接受待测试系统中的脉冲模拟信号，进行脉冲反相交换，并输出控制信号；所述信号转换器，用于确定数据采集的起始位置，进而获得一个脉冲内的等离子体质谱信号。本发明的高时间分辨的质谱检测设备可用于跟踪脉冲放电等离子体质谱信号，测试脉冲放电的瞬态等离子特性，进行等离子体诊断，研究普通质谱仪无法检测的瞬态过程。本设备成本低，且通过采用不同的溅射电源和溅射阴极能够很好地适应不同的放电要求。
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公开(公告)号：CN111534806A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010613410.9
申请日：2020-06-30
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开一种硬质涂层及其制备方法与应用。所述硬质涂层的制备技术为持续高功率磁控溅射技术；其中，平均功率密度>80W/cm2。本发明所述的镀膜技术为新型磁控溅射技术，具有高功率、高离化、高速沉积的特点。制备的涂层力学性能和沉积速率可以达到电弧离子镀水平，但离子束流中不含金属液滴，可有效降低涂层表面粗糙度，提高涂层致密度，进而大幅度提高其抗腐蚀和耐高温氧化性能。所述新型磁控溅射技术可以在基底表面制备多种二元或多元金属氮化物、氧化物、碳化物、硅化物以及硼化物等硬质涂层，具有广阔的应用价值。
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公开(公告)号：CN110923650A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911228670.8
申请日：2019-12-04
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开一种DLC涂层及其制备方法。本发明中，在高能脉冲偏压下，实现了沉积与注入结合的涂层生长方法，从而实现了涂层应力的控制。采用该方法制备DLC涂层，大幅降低了DLC涂层的应力，极大提升了DLC涂层的结合力。
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