公开(公告)号：CN110846624B

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN201911081661.0

申请日：2019-11-07

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 吴忠振 ,  余浩洋 ,  崔岁寒 ,  刘亮亮 ,  吴忠灿

IPC: C23C14/32 ,  C23C14/56 ,  H01J37/08

Abstract: 本发明提供一种新型阳极层离子源，包括位于轴心位置的内阴极，环绕在所述内阴极外侧的外阴极，所述内阴极和所述外阴极之间的间隙为离子束流通道；均匀排列在内阴极与外阴极之间的永磁体；位于所述内阴极和所述外阴极之间且环绕所述内阴极的阳极环，开设在所述阳极环内的通气孔，开设在所述阳极环上且连通所述通气孔的通气狭缝，所述通气狭缝朝向所述离子束流通道。通过改变离子源的通气方式，减少工作气体与阳极接触，从而降低工作气体对阳极造成污染和附着物吹出造成对沉积涂层的污染。

公开(公告)号：CN110846624A

公开(公告)日：2020-02-28

申请号：CN201911081661.0

申请日：2019-11-07

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 吴忠振 ,  余浩洋 ,  崔岁寒 ,  刘亮亮 ,  吴忠灿

IPC: C23C14/32 ,  C23C14/56 ,  H01J37/08

Abstract: 本发明提供一种新型阳极层离子源，包括位于轴心位置的内阴极，环绕在所述内阴极外侧的外阴极，所述内阴极和所述外阴极之间的间隙为离子束流通道；均匀排列在内阴极与外阴极之间的永磁体；位于所述内阴极和所述外阴极之间且环绕所述内阴极的阳极环，开设在所述阳极环内的通气孔，开设在所述阳极环上且连通所述通气孔的通气狭缝，所述通气狭缝朝向所述离子束流通道。通过改变离子源的通气方式，减少工作气体与阳极接触，从而降低工作气体对阳极造成污染和附着物吹出造成对沉积涂层的污染。