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公开(公告)号：CN105137713B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201510606372.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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公开(公告)号：CN104570594B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201410551185.5
申请日：2014-10-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及一种压印设备和制造制品的方法，所述压印设备实施通过使用模具在基板上形成图案的压印处理，所述设备包括：加热单元，其构造成加热基板上的待压印的区域，从而使得所述区域变形；和处理单元，其构造成将待压印的第一区域和第二区域中的一个区域确定为首先将被压印的区域并且将另一个区域确定为随后将被压印的区域，其中，在所述加热单元使得所述一个区域变形以使得所述一个区域接近目标形状的情况中对所述另一个区域造成的影响小于在所述加热单元使得所述另一个区域变形以使得所述另一个区域接近所述目标形状的情况中对所述一个区域造成的影响。
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公开(公告)号：CN105137713A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510606372.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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公开(公告)号：CN103048879B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201210387601.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/021 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103048878B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201210385057.9
申请日：2012-10-12
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/682 , B29C35/0805 , B29C59/026 , B29C59/16 , B29C2035/0822 , B29K2101/00 , B29L2009/00 , B29L2031/34 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L21/0271 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/6715 , H01L21/6838 , H01L22/20 , H01L23/544
Abstract: 本发明涉及一种压印方法、压印装置和设备制造方法。本发明的压印方法包括以下步骤：把基板保持在保持面上的保持步骤；使在基板上形成图案处的基板侧图案区的形状变形的变形步骤；使经变形的基板侧图案区上的树脂与模具接触的接触步骤；固化树脂的固化步骤；和使模具脱离与模具接触的树脂的脱模步骤。其中在变形步骤中，在沿着基板的表面的方向上对基板施加变形力，所述变形力大于作用于与基板侧图案区对应的基板的背面和所述保持面之间的最大静摩擦力。
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公开(公告)号：CN104570594A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410551185.5
申请日：2014-10-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29K2101/00 , B29L2031/001
Abstract: 本发明涉及一种压印设备和制造制品的方法，所述压印设备实施通过使用模具在基板上形成图案的压印处理，所述设备包括：加热单元，其构造成加热基板上的待压印的区域，从而使得所述区域变形；和处理单元，其构造成将待压印的第一区域和第二区域中的一个区域确定为首先将被压印的区域并且将另一个区域确定为随后将被压印的区域，其中，在所述加热单元使得所述一个区域变形以使得所述一个区域接近目标形状的情况中对所述另一个区域造成的影响小于在所述加热单元使得所述另一个区域变形以使得所述另一个区域接近所述目标形状的情况中对所述一个区域造成的影响。
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公开(公告)号：CN103048878A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210385057.9
申请日：2012-10-12
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/682 , B29C35/0805 , B29C59/026 , B29C59/16 , B29C2035/0822 , B29K2101/00 , B29L2009/00 , B29L2031/34 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L21/0271 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/6715 , H01L21/6838 , H01L22/20 , H01L23/544
Abstract: 本发明涉及一种压印方法、压印装置和设备制造方法。本发明的压印方法包括以下步骤：把基板保持在保持面上的保持步骤；使在基板上形成图案处的基板侧图案区的形状变形的变形步骤；使经变形的基板侧图案区上的树脂与模具接触的接触步骤；固化树脂的固化步骤；和使模具脱离与模具接触的树脂的脱模步骤。其中在变形步骤中，在沿着基板的表面的方向上对基板施加变形力，所述变形力大于作用于与基板侧图案区对应的基板的背面和所述保持面之间的最大静摩擦力。
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公开(公告)号：CN103048879A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210387601.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/021 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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