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公开(公告)号：CN103383247B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201310323229.4
申请日：2013-07-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Inventor： 施玉书 , 高思田 , 边文斌 , 李伟 , 李琪 , 李适 , 朱振东 , 皮磊
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种光学检测系统及装置，所述系统包括由上至下依次排列的激光器、非偏振分光镜、偏振分光镜、透反镜及测量透镜；非偏振分光镜位置水平对应光电接收器A，透反镜与测量透镜之间固定有λ/4波片，偏振分光镜位置水平对应光电接收器B。本发明设计的光学检测系统及装置解决了现有用于表面形貌测量的光学检测装置及非接触式显微测头，抗干扰能力不强、分辨力有限等问题。
