公开(公告)号：CN103219423A

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201310117565.3

申请日：2013-04-07

Applicant: 上海大学

Inventor： 王林军 ,  沈萍 ,  袁振文 ,  姚蓓玲 ,  周捷 ,  徐海涛 ,  张继军 ,  黄健 ,  唐可

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/108 ,  H01L31/0272 ,  H01L31/0224

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及一种CdMnTe薄膜紫外光探测器的制备方法，属于无机非金属材料器件制造工艺技术领域。本发明是采用近空间升华方法制备CdMnTe薄膜，并制作CdMnTe薄膜肖特基结构紫外光探测器，为制作高性能的紫外光探测器提供了新的方法。本发明制备高平整、颗粒尺寸小、电阻率高的CdMnTe薄膜样品。薄膜的面积>2cm2，薄膜的厚度为>20mm，电阻率达1010Ω·cm；金属电极的厚度为50~300nm。