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公开(公告)号:CN107923801A
公开(公告)日:2018-04-17
申请号:CN201680044835.4
申请日:2016-07-11
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: G01K7/22
CPC classification number: G01K7/223 , G01K1/12 , G03G15/2039
Abstract: 本发明的温度传感器具备一对引线框(2)、与引线框连接的传感器部(3)及保持引线框的绝缘性的保持部(4),传感器部具备:绝缘性薄膜(5),在上表面粘结有引线框;薄膜热敏电阻部(6),形成于绝缘性薄膜;一对梳状电极(7),形成于薄膜热敏电阻部上;一对图案电极,形成于绝缘性薄膜的上表面;及一对保护胶带(9A、9B),从上下夹着一对引线框及传感器部而彼此粘结,绝缘性薄膜的两侧部(5a)配设于在一对引线框的粘结面侧上所配设的外侧角部(2b)的附近且内侧,保护胶带的两侧部(9a)从绝缘性薄膜的两侧部在外侧朝向上表面侧弯曲。
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公开(公告)号:CN104025211A
公开(公告)日:2014-09-03
申请号:CN201380004634.8
申请日:2013-02-26
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C30B25/06 , C30B29/38 , G01K7/22 , H01C7/023 , H01C7/04 , H01C7/043 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器,该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上,且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料,由以通式:TixAlyNz表示的金属氮化物构成,其中,0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.4≤z≤0.5、x+y+z=1,其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号:CN104169699B
公开(公告)日:2017-04-05
申请号:CN201380013565.7
申请日:2013-03-22
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/226 , C23F1/38 , H01C1/142 , H01C1/148 , H01C7/008 , H01C17/12 , H01C17/288
Abstract: 本发明提供一种温度传感器及其制造方法,该温度传感器在针对TiAlN的热敏电阻材料层的电极结构中即使在高温环境下也不易成为高电阻,进而能够通过非烧成的方式在薄膜等上直接成膜,且具有较高的耐热性且可靠性较高。本发明的温度传感器具备:绝缘性基材(2);薄膜热敏电阻部(3),形成于该绝缘性基材上;及一对图案电极(4),以将相互对置的一对对置电极部(4a)配设于薄膜热敏电阻部上的方式形成于绝缘性基材上,薄膜热敏电阻部由TiAlN的热敏电阻材料形成,图案电极具有:TiN的接合层(5),形成于薄膜热敏电阻部上;及电极层(6),由贵金属形成于该接合层上。
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公开(公告)号:CN104823031B
公开(公告)日:2017-04-05
申请号:CN201380062949.8
申请日:2013-12-17
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/22 , G01K1/143 , G01K13/08 , H01C1/14 , H01C1/1406 , H01C1/1413 , H01C1/142 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/04 , H01L23/495 , H01L35/02 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种温度传感器,其具备:一对引线框架;传感器部,与一对引线框架连接;及绝缘性保持部,保持引线框架,传感器部具备:带状的绝缘性薄膜;薄膜热敏电阻部,在绝缘性薄膜的表面的中央部被图案形成;一对梳状电极,在薄膜热敏电阻部的上方具有多个梳齿部且相互对置地被图案形成;及一对图案电极,一端与一对梳状电极连接,并且另外一端在绝缘性薄膜的端部与一对引线框架连接,并在绝缘性薄膜的表面被图案形成,绝缘性薄膜在弯曲成略U字形的状态下将薄膜热敏电阻部配置在顶端部,且两端部固定在一对引线框架上。
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公开(公告)号:CN104170031A
公开(公告)日:2014-11-26
申请号:CN201380013405.2
申请日:2013-03-25
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01C7/04
CPC classification number: H01C7/008 , C23C14/0641 , G01K7/22 , G01K7/226 , H01C7/04 , H01C17/06513 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物膜及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器,该热敏电阻用金属氮化物膜能够通过非烧成的方式在薄膜等上直接成膜,并且耐弯曲性也优异。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物膜由以通式:TixAlyNz表示的金属氮化物构成,其中,0.70≤y/(x+y)≤0.95,0.4≤z≤0.5,x+y+z=1,其晶体结构为六方晶系的纤锌矿型单相,在X射线衍射时a轴取向(100)的衍射峰强度与c轴取向(002)的衍射峰强度的峰值比,即a轴取向(100)的衍射峰强度/c轴取向(002)的衍射峰强度为0.1以下。
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公开(公告)号:CN104169699A
公开(公告)日:2014-11-26
申请号:CN201380013565.7
申请日:2013-03-22
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/226 , C23F1/38 , H01C1/142 , H01C1/148 , H01C7/008 , H01C17/12 , H01C17/288
Abstract: 本发明提供一种温度传感器及其制造方法,该温度传感器在针对TiAlN的热敏电阻材料层的电极结构中即使在高温环境下也不易成为高电阻,进而能够通过非烧成的方式在薄膜等上直接成膜,且具有较高的耐热性且可靠性较高。本发明的温度传感器具备:绝缘性基材(2);薄膜热敏电阻部(3),形成于该绝缘性基材上;及一对图案电极(4),以将相互对置的一对对置电极部(4a)配设于薄膜热敏电阻部上的方式形成于绝缘性基材上,薄膜热敏电阻部由TiAlN的热敏电阻材料形成,图案电极具有:TiN的接合层(5),形成于薄膜热敏电阻部上;及电极层(6),由贵金属形成于该接合层上。
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公开(公告)号:CN104025211B
公开(公告)日:2016-11-09
申请号:CN201380004634.8
申请日:2013-02-26
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C30B25/06 , C30B29/38 , G01K7/22 , H01C7/023 , H01C7/04 , H01C7/043 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器,该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上,且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料,由以通式:TixAlyNz表示的金属氮化物构成,其中,0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.4≤z≤0.5、x+y+z=1,其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号:CN104823031A
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201380062949.8
申请日:2013-12-17
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/22 , G01K1/143 , G01K13/08 , H01C1/14 , H01C1/1406 , H01C1/1413 , H01C1/142 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/04 , H01L23/495 , H01L35/02 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种温度传感器,其具备:一对引线框架;传感器部,与一对引线框架连接;及绝缘性保持部,保持引线框架,传感器部具备:带状的绝缘性薄膜;薄膜热敏电阻部,在绝缘性薄膜的表面的中央部被图案形成;一对梳状电极,在薄膜热敏电阻部的上方具有多个梳齿部且相互对置地被图案形成;及一对图案电极,一端与一对梳状电极连接,并且另外一端在绝缘性薄膜的端部与一对引线框架连接,并在绝缘性薄膜的表面被图案形成,绝缘性薄膜在弯曲成略U字形的状态下将薄膜热敏电阻部配置在顶端部,且两端部固定在一对引线框架上。
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公开(公告)号:CN104185881A
公开(公告)日:2014-12-03
申请号:CN201380013471.X
申请日:2013-03-25
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01C13/00 , H01C7/04 , H01M10/48 , H01M10/637 , H01M10/617
CPC classification number: G01R31/3644 , G01K13/00 , H01G11/18 , H01M10/0525 , H01M10/486 , H01M10/615 , H01M10/63 , H01M10/643 , H01M10/647 , H01M10/6571
Abstract: 本发明提供一种带温度调节功能的电池,其能够准确地测定电池的温度,并且能够高精度地进行加热器的加热控制,而且能够实现薄型化。本发明的带温度调节功能的电池具备电池主体(B1)、及设置成覆盖电池主体的表面的至少一部分的带温度传感器的薄膜加热器(10),带温度传感器的薄膜加热器具备绝缘性薄膜(2)、形成于绝缘性薄膜上的温度传感器部(TS)、及在其上经由绝缘层(5)形成的加热器线(6),加热器线图案形成于绝缘层(5)之上,温度传感器部具有由热敏电阻材料图案形成于加热器线的发热区域的正下方且绝缘性薄膜(2)之上的薄膜热敏电阻部(3)、及至少形成于薄膜热敏电阻部之上的一对图案电极(4)。
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