公开(公告)号：CN110491825B

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN201910059581.9

申请日：2019-01-22

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李耕希 ,  李睃荣

IPC: H01L21/762 ,  H10B43/27 ,  H10B43/35 ,  H01L21/67

Abstract: 公开了一种用于制造半导体装置的方法和用于半导体装置的制造设备。该用于制造半导体装置的方法包括在基底上形成下结构。下结构包括交替且重复地堆叠的第一牺牲层和第一绝缘层。在下结构中形成第一孔。第一孔使基底的上表面暴露。在第一孔中形成牺牲图案。牺牲图案的孔隙率朝向基底增加。在下结构和牺牲图案上形成上结构。上结构包括交替且重复地堆叠的第二牺牲层和第二绝缘层。在上结构中形成第二孔。第二孔使牺牲图案暴露。去除牺牲图案。

公开(公告)号：CN110491825A

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201910059581.9

申请日：2019-01-22

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李耕希 ,  李睃荣

IPC: H01L21/762 ,  H01L27/1157 ,  H01L27/11582 ,  H01L21/67

Abstract: 公开了一种用于制造半导体装置的方法和用于半导体装置的制造设备。该用于制造半导体装置的方法包括在基底上形成下结构。下结构包括交替且重复地堆叠的第一牺牲层和第一绝缘层。在下结构中形成第一孔。第一孔使基底的上表面暴露。在第一孔中形成牺牲图案。牺牲图案的孔隙率朝向基底增加。在下结构和牺牲图案上形成上结构。上结构包括交替且重复地堆叠的第二牺牲层和第二绝缘层。在上结构中形成第二孔。第二孔使牺牲图案暴露。去除牺牲图案。

公开(公告)号：CN112736081A

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：CN202010738503.4

申请日：2020-07-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金哉勳 ,  朴光浩 ,  孙龙勳 ,  宋炫知 ,  李耕希 ,  郑承宰

IPC: H01L27/108 ,  H01L21/8242

Abstract: 提供了一种半导体存储器装置，所述半导体存储器装置可以包括：位线，在第一方向上延伸；第一导电图案，在与第一方向相交的第二方向上延伸；半导体图案，将位线与第一导电图案连接；第二导电图案，包括位于第一导电图案中的插入部；以及介电层，位于第一导电图案与第二导电图案之间。第二导电图案的插入部可以具有随着距半导体图案的距离增大而增大的宽度。

公开(公告)号：CN112736081B

公开(公告)日：2025-01-14

申请号：CN202010738503.4

申请日：2020-07-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金哉勳 ,  朴光浩 ,  孙龙勳 ,  宋炫知 ,  李耕希 ,  郑承宰

IPC: H10B12/00

Abstract: 提供了一种半导体存储器装置，所述半导体存储器装置可以包括：位线，在第一方向上延伸；第一导电图案，在与第一方向相交的第二方向上延伸；半导体图案，将位线与第一导电图案连接；第二导电图案，包括位于第一导电图案中的插入部；以及介电层，位于第一导电图案与第二导电图案之间。第二导电图案的插入部可以具有随着距半导体图案的距离增大而增大的宽度。

公开(公告)号：CN112510049A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN202010902350.2

申请日：2020-09-01

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 孙龙勋 ,  金哉勋 ,  朴光浩 ,  宋炫知 ,  李耕希 ,  郑承宰

IPC: H01L27/11517 ,  H01L27/11521 ,  H01L27/11526 ,  H01L27/11563 ,  H01L27/11568 ,  H01L27/11573

Abstract: 公开了一种半导体存储器件。该器件包括：在衬底上的外围电路结构；在外围电路结构上的半导体层；在半导体层上的电极结构，该电极结构包括堆叠在半导体层上的电极；垂直沟道结构，其穿透电极结构并且连接到半导体层；分离结构，其穿透电极结构，在第一方向上延伸并且将电极结构的电极水平地分成一对电极；覆盖电极结构的层间绝缘层；以及穿透层间绝缘层并且电连接到外围电路结构的贯穿接触。