一种电绝缘结构的电极
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104658836A

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201310597646.8

    申请日:2013-11-22

    CPC classification number: H01J17/04 H01J17/10 H01J2217/04 H01J2217/10

    Abstract: 本发明属于一种辉光放电电极,具体涉及一种改进型电绝缘的电极,可应用于大中小型的聚变装置中的辉光放电清洗。它包括防再沉积支撑块、电极头,通过螺栓与螺母将防再沉积支撑块、电极头、第一绝缘陶瓷组件和第三绝缘陶瓷组件连接在一起,蝶形垫圈放置在第一绝缘陶瓷组件和第三绝缘陶瓷组件,第二绝缘陶瓷组件安装在第一绝缘陶瓷组件上,电极头盖板点焊在电极头表面,真空室固定螺栓将电极支撑在真空室内。本发明的优点是:1、减少溅射出的杂质粒子沉积在电极各表面;2、提高电极与真空室之间的绝缘性能;3、系统结构简单、安装及拆卸方便等。

Patent Agency Ranking