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公开(公告)号：CN104204899B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201380015580.5
申请日：2013-03-20
Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
Inventor： 乌尔里希·霍夫曼 , 汉斯-约阿希姆·昆策尔 , 约阿希姆·雅内斯 , 伯恩·詹森
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0833 , B32B37/16 , B32B38/0008 , B32B38/10 , B32B2307/416 , B32B2310/0875 , B32B2551/08 , G02B1/12 , G02B7/1815 , G02B7/1821
Abstract: 本发明涉及一种具有至少一个镜板的微镜装置，所述镜板通过一个或多个弹簧元件被悬挂在芯片框中以进行震动。在所述芯片框和所述一个或多个弹簧元件中设置有至少一个具有用于引导冷却剂的入口和出口的微镜，或者在所述芯片框，所述一个或多个弹簧元件以及所述至少一个镜板中设置有至少一个该微镜。
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公开(公告)号：CN106019578A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610162102.2
申请日：2016-03-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 近藤学
CPC classification number: G02B7/1815 , B81B7/008 , B81B2201/042 , B81B2207/012 , B81C1/00317 , B81C2203/0118 , B81C2203/0785 , G02B5/208 , G02B26/0841 , G03B21/008 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2924/15174 , H01L2924/16195 , G02B26/0833 , B81B3/0081 , B81B7/0077 , B81B2201/047 , G02B7/008 , H01L21/56 , H01L23/13 , H01L23/24 , H01L23/3121 , H01L2924/0002
Abstract: 本发明提供了光电装置、光电装置的制造方法以及电子设备。光电装置具有设置有反射镜的元件基板以及密封反射镜的密封部件，密封部件包括在元件基板的相反侧与反射镜相对的透光性盖。透光性盖上层叠有红外线截止滤波器。因此，透过了透光性盖的光中由于可以降低由于散热的原因引起的红外区域的成分，所以可以抑制元件基板等的温度上升。
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公开(公告)号：CN103814331B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201180073600.5
申请日：2011-09-21
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： J.哈特杰斯
CPC classification number: G03F7/702 , G02B7/1815 , G02B26/0866 , G03F7/70216 , G03F7/70266 , G03F7/708 , G03F7/70891
Abstract: 本发明涉及在微光刻投射曝光设备中热致动反射镜的布置，其中反射镜(901)具有光学有效表面(901a)和至少一个进入通道(910、910’)，至少一个进入通道(910、910’)在所述有效表面的方向上从该反射镜的不对应于光学有效表面的表面延伸，其中该布置设计为利用在进入通道(910)中传播的电磁辐射热致动反射镜(901)，其中该布置还具有至少一个热辐射装置，其产生在进入通道(910、910’)中传播的电磁辐射，以及其中热辐射装置可沿着进入通道(910、910’)致动。
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公开(公告)号：CN103562797A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201280024051.7
申请日：2012-03-16
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G02B7/1815 , G02B5/0891 , G02B5/208 , G03F7/70891
Abstract: 本发明涉及一种用于半导体光刻的投射曝光设备的光学元件，包括光学作用表面(9)和用于冷却光学元件的至少一个冷却部件，其中，所述冷却部件连接到至少两个分离的冷却回路，并实施为使得所述光学作用表面(9)可以在至少一个部分区域中比在另一部分区域中以更大的程度被冷却。本发明还涉及一种包括根据本发明的光学元件的投射曝光设备。
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公开(公告)号：CN1618114A
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：CN03802357.1
申请日：2003-06-19
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 宫岛义一
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , G21K1/06
CPC classification number: G21K1/06 , G02B7/1815 , G03F7/70175 , G03F7/702 , G03F7/70233 , G03F7/70891 , G21K2201/065 , G21K2201/067
Abstract: 本申请公开了一种反射镜设备、曝光设备以及器件制造方法。在通过反射引导曝光光线的曝光设备中，用在反射光学系统中的反射镜设备具有：一个具有一个反射所述曝光光线的反射表面的反射镜；用于散热冷却的散热板，被设置在离开所述反射镜的外表面的位置。所述散热板的设置确保入射到所述反射表面上并从该反射表面反射的所述曝光光线的通道区域。另外，用流过冷却管的冷却液体对各散热板进行温度控制。这样，可以抑制用在曝光设备的反射光学系统中的反射镜的温度上升，保持反射镜反射面的面形状的精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107340583A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710801763.X
申请日：2017-09-07
Applicant: 天津津航技术物理研究所
CPC classification number: G02B7/1815 , G02B7/182
Abstract: 本发明属于光机设计技术领域，具体涉及一种具有消热结构的金属镜，特别是一种消热铝镜。本发明通过在金属镜的光学支撑面的边缘开设贯穿光学支撑结构的消热槽，来达到抵消热应力的目的，使金属镜在工作环境的温度升高时，光学成像面的面形精度仍能满足光学系统的要求。
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公开(公告)号：CN106249520A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610380282.1
申请日：2016-06-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 泷泽孝浩
CPC classification number: G03B21/16 , G02B7/1815 , G03B21/2013 , G03B21/2066
Abstract: 本发明提供光路变更装置和投影仪，能够高效地冷却反射部件。光路变更装置具有：反射部件，其使所射入的光向规定的反射方向反射；以及保持反射部件的壳体，壳体具有沿着与反射方向垂直的方向隔着反射部件的第1面和第2面，第1面和第2面分别具有开口部，冷却气体从第1面的开口部向第2面的开口部流通。
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公开(公告)号：CN105163983A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201480024062.4
申请日：2014-05-24
IPC: B60R1/06
CPC classification number: B60R1/06 , B60R1/02 , G02B7/1815 , G02B7/182
Abstract: 本发明涉及一种无框镜子以及无框镜子(4)相关安装方法，在所述方法中利用以下步骤将镜子玻璃(5)固定到支承板(6)上：使用具有边缘(8)的支承板；通过以边缘作为止挡部将镜子玻璃定位和粘贴到支承板上；从支承板上分离具有额定断裂部位(9)的边缘。
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公开(公告)号：CN102576141B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201080043766.8
申请日：2010-09-22
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70891 , F21V29/505 , F21V29/60 , F21V29/71 , G02B7/1815
Abstract: 本发明涉及一种光学系统中的光学布置，尤其是微光刻投射曝光设备中的光学布置，该光学布置包括：至少一个发热子系统(110-810)，在光学系统操作期间发射热；第一热屏蔽(120-820)，设置成至少部分吸收发热子系统(110-810)所发射的热；第一冷却装置(130-830)，与第一热屏蔽机械接触，并被设计成将来自第一热屏蔽的热散掉；以及第二热屏蔽(140-840)，至少部分吸收第一热屏蔽(120-820)所发射的热，同样地，第二热屏蔽(140-840)与将来自第二热屏蔽(140-840)的热散掉的冷却装置机械接触。
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公开(公告)号：CN104204899A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201380015580.5
申请日：2013-03-20
Applicant: 弗兰霍菲尔运输应用研究公司
Inventor： 乌尔里希·霍夫曼 , 汉斯-约阿希姆·昆策尔 , 约阿希姆·雅内斯 , 伯恩·詹森
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0833 , B32B37/16 , B32B38/0008 , B32B38/10 , B32B2307/416 , B32B2310/0875 , B32B2551/08 , G02B1/12 , G02B7/1815 , G02B7/1821
Abstract: 本发明涉及一种具有至少一个镜板的微镜装置，所述镜板通过一个或多个弹簧元件被悬挂在芯片框中以进行震动。在所述芯片框和所述一个或多个弹簧元件中设置有至少一个具有用于引导冷却剂的入口和出口的微镜，或者在所述芯片框，所述一个或多个弹簧元件以及所述至少一个镜板中设置有至少一个该微镜。
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