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公开(公告)号：CN104136912A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380009617.3
申请日：2013-01-15
Applicant: 费姆托激光产品股份有限公司
Inventor： 加布里埃尔·弗洛林·滕佩亚
CPC classification number: G01J3/45 , E01H5/045 , G01J3/4531 , G01J2003/283 , G01J2003/451 , G01J2003/4538 , G01M11/005 , G01N21/25 , G01N21/45 , G01N2021/4126 , G01N2201/126 , G02B1/115 , G02B5/0825
Abstract: 使用光谱干涉测量进行样品光学检查的方法和装置，其中由辐射源(1)发射的光束(2”)被引导到样品(5)上，而参考光束(2’)被引导到参考样品(4)上，这两个光束在所述样品处反射之后或经过所述样品之后的光谱干涉通过光谱仪(6)记录；关于角频率ω对如此获得的干涉图I(ω)进行数值求导。对于如此获得的函数I'(ω)，将零点ωi数值计算为等式I'(ω)＝0的解，然后根据等式τ(ωn)＝π/(ωi+1-ωi)从零点ωi计算依赖于频率的群延迟τ(ω)，其中i＝1,2…,并且ωn＝(ωi+1+ωi)/2。
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公开(公告)号：CN106361269A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610459033.1
申请日：2016-06-22
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
Inventor： 西胁青儿
IPC: A61B5/00
CPC classification number: G01J3/4531 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0229 , G01J3/10 , G01J2003/102 , G01J2003/104 , G01J2003/4538 , A61B5/0059 , A61B5/0062 , A61B5/72
Abstract: 一种光检测装置，具备：第1光源，其向被摄体照射中心波长为第1波长的第1光；第2光源，其向被摄体照射中心波长为比第1波长长的第2波长的第2光；光学滤波器，其包含至少1个第1区域以及至少1个第2区域，使在被摄体进行透射或反射后的第3光进行透射，至少1个第1区域的透射波长即第1透射波长的范围比第1波长长并且比第2波长短，至少1个第2区域的透射波长即第2透射波长的范围比第1波长长并且比第2波长短，第2透射波长的半值宽度与第1透射波长的半值宽度不同；至少1个第1检测器，其检测在至少1个第1区域进行透射后的第3光的第1光量；和至少1个第2检测器，其检测在至少1个第2区域进行透射后的第3光的第2光量。
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公开(公告)号：CN104145177B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201380011702.3
申请日：2013-02-27
Applicant: 国立大学法人香川大学
Inventor： 石丸伊知郎
IPC: G01J3/453 , G01N21/45 , G01N21/49 , A61B5/145 , A61B5/1455
CPC classification number: A61B5/1455 , A61B5/14532 , A61B5/6887 , A61B5/7257 , A61B2562/0233 , G01B9/02041 , G01B9/02049 , G01B9/0207 , G01J3/0205 , G01J3/0229 , G01J3/0256 , G01J3/0272 , G01J3/10 , G01J3/18 , G01J3/4532 , G01J3/4535 , G01J2003/102 , G01J2003/4538 , G01N21/255 , G01N21/359 , G01N21/45 , G01N21/49 , G01N21/9501 , G01N2201/0612
Abstract: 本发明使从测量对象发出的测量光入射到固定反射镜部和可动反射镜部，形成被上述固定反射镜部反射的测量光与被上述可动反射镜部反射的测量光的干渉光。此时，通过使上述可动反射镜部进行移动来获得测量光的干渉光强度变化，基于该变化求出测量光的干涉图。另外，同时使作为测量光的波长频带的一部分的窄频带的波长的参考光入射到上述固定反射镜部和上述可动反射镜部，形成被该固定反射镜部反射的参考光与被该可动反射镜部反射的参考光的干涉光。此时，使上述可动反射镜部进行移动，由此基于参考光的干渉光强度变化的振幅以及上述测量光中的同上述参考光相同波长的测量光与上述参考光的相位差来校正上述测量光的干涉图，基于校正后的干涉图来求出上述测量光的光谱。
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公开(公告)号：CN104145177A
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201380011702.3
申请日：2013-02-27
Applicant: 国立大学法人香川大学
Inventor： 石丸伊知郎
IPC: G01J3/453 , G01N21/45 , G01N21/49 , A61B5/145 , A61B5/1455
CPC classification number: A61B5/1455 , A61B5/14532 , A61B5/6887 , A61B5/7257 , A61B2562/0233 , G01B9/02041 , G01B9/02049 , G01B9/0207 , G01J3/0205 , G01J3/0229 , G01J3/0256 , G01J3/0272 , G01J3/10 , G01J3/18 , G01J3/4532 , G01J3/4535 , G01J2003/102 , G01J2003/4538 , G01N21/255 , G01N21/359 , G01N21/45 , G01N21/49 , G01N21/9501 , G01N2201/0612
Abstract: 本发明使从测量对象发出的测量光入射到固定反射镜部和可动反射镜部，形成被上述固定反射镜部反射的测量光与被上述可动反射镜部反射的测量光的干渉光。此时，通过使上述可动反射镜部进行移动来获得测量光的干渉光强度变化，基于该变化求出测量光的干涉图。另外，同时使作为测量光的波长频带的一部分的窄频带的波长的参考光入射到上述固定反射镜部和上述可动反射镜部，形成被该固定反射镜部反射的参考光与被该可动反射镜部反射的参考光的干涉光。此时，使上述可动反射镜部进行移动，由此基于参考光的干渉光强度变化的振幅以及上述测量光中的同上述参考光相同波长的测量光与上述参考光的相位差来校正上述测量光的干涉图，基于校正后的干涉图来求出上述测量光的光谱。
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