力量传感器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108784719A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201710994626.2

    申请日:2017-10-23

    Inventor: 侯智升 周嘉宏

    Abstract: 本发明公开一种力量传感器,包括上层堆栈、下层堆栈、固态接合隔离单元控制电路和控制电路,其特征是,上层堆栈具有上层基板,该上层基板设置于该上层堆栈的顶面;下层堆栈具有下层基板,该下层基板设置于该下层堆栈的底面;固态接合隔离单元设置于该上层基板和该下层基板之间,当力量传感器在基底状态时,固态接合隔离单元用以保持上层基板以及下层基板之间的相对位置固定;控制电路电性耦合到该力量传感器,用于感测施加于该力量传感器上的力量,并且输出对应的信号。本发明的快速响应力量传感器可以对施加或是释放的力量变化,快速产生对应信号。

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