公开(公告)号：CN104272424A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201380022274.4

申请日：2013-02-27

Applicant: X射线光学系统公司

Inventor： Z·陈

IPC: H01J35/08 ,  G01N23/00

CPC classification number: H01J35/08 ,  G01N23/223 ,  G21K1/062 ,  G21K1/067 ,  G21K2201/062 ,  H01J35/14 ,  H01J2235/081 ,  H01J2235/084 ,  H01J2235/088 ,  G01N23/00

Abstract: X射线管包括靶，电子冲击在靶上以形成发散的X射线光束。该靶具有由第一和第二靶材料形成的表面，每种靶材料制造成发出对应的X射线能线图。第一X射线光学装置可设置用于朝向样品斑点引导该光束，该第一X射线光学装置使得发散的X射线光束从第一靶材料发出的能量单色化为第一能量；并且，第二X射线光学装置可设置用于朝向样品斑点引导该光束，该第二X射线光学装置使得发散的X射线光束从第二靶材料发出的能量单色化为第二能量。由第一和第二单色能量引起的样品斑点的荧光被用于测量样品中的至少一种元素的浓度，或者单独地测量涂层和底下的衬底中的元素。

公开(公告)号：CN107424889A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201710551603.4

申请日：2013-02-27

Applicant: X射线光学系统公司

Inventor： Z·陈

IPC: H01J35/08 ,  G21K1/06 ,  G01N23/223

CPC classification number: H01J35/08 ,  G01N23/223 ,  G21K1/062 ,  G21K1/067 ,  G21K2201/062 ,  H01J35/14 ,  H01J2235/081 ,  H01J2235/084 ,  H01J2235/088

Abstract: X射线管包括靶，电子冲击在靶上以形成发散的X射线光束。该靶具有由第一和第二靶材料形成的表面，每种靶材料制造成发出对应的X射线能线图。第一X射线光学装置可设置用于朝向样品斑点引导该光束，该第一X射线光学装置使得发散的X射线光束从第一靶材料发出的能量单色化为第一能量；并且，第二X射线光学装置可设置用于朝向样品斑点引导该光束，该第二X射线光学装置使得发散的X射线光束从第二靶材料发出的能量单色化为第二能量。由第一和第二单色能量引起的样品斑点的荧光被用于测量样品中的至少一种元素的浓度，或者单独地测量涂层和底下的衬底中的元素。