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公开(公告)号：CN103487931A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310229267.3
申请日：2013-06-08
Applicant: VTT技术研究中心
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0286 , G02B5/284 , G02B26/001
Abstract: 本发明涉及微机械可调法布里-珀罗干涉仪装置及其生产方法。其中，通过微机械（MEMS）技术生产可控法布里-珀罗干涉仪。现有技术干涉仪的温度漂移造成不准确性并且需要复杂封装。根据本发明，该干涉仪装置在同一基板上具有电可调干涉仪和参考干涉仪两者。使用该参考干涉仪测量温度漂移，并且该信息用于补偿利用可调干涉仪进行的测量。因此，可提高测量的准确性和稳定性，并且减轻了对于封装的需求。
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公开(公告)号：CN102449447A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201080023427.3
申请日：2010-05-28
Applicant: VTT技术研究中心
Inventor： 马尔蒂·布卢姆伯格
CPC classification number: G02B26/001 , B81B3/0013 , B81B2201/042 , B81C2201/115 , G01J3/26
Abstract: 本发明涉及用微机械(MEMS)技术制造的可控法布里珀罗干涉仪。制造现有技术的干涉仪包括在蚀刻牺牲层(123)期间镜劣化的风险。根据本发明的方案，镜的至少一个层(103，105，114，116)由富硅氮化硅制成。在发明的法布里珀罗干涉仪中，可以避免或减少在镜层中使用氧化硅，从而降低了镜劣化的风险。还可以使用具有较高粗糙度的镜表面，从而降低了镜彼此粘着的风险。
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公开(公告)号：CN103487931B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201310229267.3
申请日：2013-06-08
Applicant: VTT技术研究中心
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0286 , G02B5/284 , G02B26/001
Abstract: 本发明涉及微机械可调法布里‑珀罗干涉仪装置及其生产方法。其中，通过微机械（MEMS）技术生产可控法布里‑珀罗干涉仪。现有技术干涉仪的温度漂移造成不准确性并且需要复杂封装。根据本发明，该干涉仪装置在同一基板上具有电可调干涉仪和参考干涉仪两者。使用该参考干涉仪测量温度漂移，并且该信息用于补偿利用可调干涉仪进行的测量。因此，可提高测量的准确性和稳定性，并且减轻了对于封装的需求。
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公开(公告)号：CN102449447B
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201080023427.3
申请日：2010-05-28
Applicant: VTT技术研究中心
Inventor： 马尔蒂·布卢姆伯格
CPC classification number: G02B26/001 , B81B3/0013 , B81B2201/042 , B81C2201/115 , G01J3/26
Abstract: 本发明涉及用微机械(MEMS)技术制造的可控法布里珀罗干涉仪。制造现有技术的干涉仪包括在蚀刻牺牲层(123)期间镜劣化的风险。根据本发明的方案，镜的至少一个层(103，105，114，116)由富硅氮化硅制成。在发明的法布里珀罗干涉仪中，可以避免或减少在镜层中使用氧化硅，从而降低了镜劣化的风险。还可以使用具有较高粗糙度的镜表面，从而降低了镜彼此粘着的风险。
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