公开(公告)号：CN103487931A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201310229267.3

申请日：2013-06-08

Applicant: VTT技术研究中心

Inventor： 亚尔科·安蒂拉 ,  马尔蒂·布卢姆伯格

IPC: G02B26/00 ,  G01J3/26

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/0286 ,  G02B5/284 ,  G02B26/001

Abstract: 本发明涉及微机械可调法布里-珀罗干涉仪装置及其生产方法。其中，通过微机械（MEMS）技术生产可控法布里-珀罗干涉仪。现有技术干涉仪的温度漂移造成不准确性并且需要复杂封装。根据本发明，该干涉仪装置在同一基板上具有电可调干涉仪和参考干涉仪两者。使用该参考干涉仪测量温度漂移，并且该信息用于补偿利用可调干涉仪进行的测量。因此，可提高测量的准确性和稳定性，并且减轻了对于封装的需求。

公开(公告)号：CN103487931B

公开(公告)日：2017-11-14

申请号：CN201310229267.3

申请日：2013-06-08

Applicant: VTT技术研究中心

Inventor： 亚尔科·安蒂拉 ,  马尔蒂·布卢姆伯格

IPC: G02B26/00 ,  G01J3/26

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/0286 ,  G02B5/284 ,  G02B26/001

Abstract: 本发明涉及微机械可调法布里‑珀罗干涉仪装置及其生产方法。其中，通过微机械（MEMS）技术生产可控法布里‑珀罗干涉仪。现有技术干涉仪的温度漂移造成不准确性并且需要复杂封装。根据本发明，该干涉仪装置在同一基板上具有电可调干涉仪和参考干涉仪两者。使用该参考干涉仪测量温度漂移，并且该信息用于补偿利用可调干涉仪进行的测量。因此，可提高测量的准确性和稳定性，并且减轻了对于封装的需求。

公开(公告)号：CN104428642A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201380036359.8

申请日：2013-05-08

Applicant: VTT技术研究中心

Inventor： 塔帕尼·安蒂拉 ,  尤西·梅克伊嫩 ,  克里斯特·霍尔姆隆德 ,  亚尔科·安蒂拉 ,  于尔基·奥利拉 ,  海基·萨里

IPC: G01J3/26 ,  G02B26/00 ,  G02B5/28

CPC classification number: G02B26/001 ,  G01B9/02 ,  G01B2290/25 ,  G01J3/26 ,  Y10T29/49826

Abstract: 本发明涉及法布里-珀罗干涉仪及其制造方法。更具体地，本发明涉及利用诸如压电致动器、电致伸缩致动器或挠曲电致动器的一个或几个致动器的可控的法布里-珀罗干涉仪。在现有技术中，在实现反射镜之间足够小且均匀的间隙方面存在问题。在本发明中，中间结构(85a，85b，95a，95b，81a，81b，91a，91b，98a，98b)被用在反射镜与致动器之间或两个反射镜之间使用。生产的方法还包括在几个阶段中测量间隙的宽度分布，并且提供致动器的预启动。