公开(公告)号：CN103574139A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310304286.8

申请日：2013-07-19

Applicant: VAT控股公司

Inventor： F.埃尔内

IPC: F16K31/122 ,  F16K3/314 ,  F16K3/316 ,  F16K51/02

CPC classification number: F16K51/02 ,  F16K3/184 ,  F16K3/186 ,  F16K3/3165 ,  F16K3/188 ,  F16K3/314 ,  F16K3/316 ,  F16K31/122

Abstract: 本发明涉及一种真空阀，包括：带有第一和第二阀开口的阀壳体，阀开口具有平行的轴线且相应由阀座包围；第一和第二阀板，其可在打开位置、中间位置与关闭之间调节；以及承载单元，由其来承载阀板且承载单元具有驱动元件以用于在中间位置－在其中阀板覆盖相应的阀开口但从阀座提起－与闭合位置之间调节第一和第二阀板，驱动元件相应地包括具有至少一个气缸室的气缸和布置在气缸室中的带有活塞杆的至少一个活塞，活塞与阀板中的一个相连接。承载单元具有至少一个第一和第二支杆，驱动元件的气缸与支杆刚性地相连接，其中，气缸相应地跨越处在第一和第二支杆之间的中间腔，支杆在相对而置的侧部上侧向地布置在驱动元件的活塞杆旁边。

公开(公告)号：CN105042164A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201510199229.7

申请日：2015-04-24

Applicant: VAT控股公司

Inventor： F.埃尔内 ,  C.巴奇曼恩 ,  M.沃扎塞克

IPC: F16K31/122 ,  F16K3/30

CPC classification number: F16K3/182 ,  F16K3/184 ,  F16K31/1225 ,  F16K51/02 ,  F16K31/122 ,  F16K3/30

Abstract: 阀(1)，带有由阀座(2)围绕的开口(3)和封闭机构(4)，其中封闭机构(4)在关闭位置中紧压到阀座(2)处并且封闭开口(3)，且在中间位置中由阀座(2)抬起并且与开口(3)重合并且在最大的打开位置中至少部分地开启开口(3)，其中阀(1)具有至少一个第一阀驱动器(5)用于使封闭机构(4)在最大的打开位置和中间位置之间沿着第一运动轨道(6)运动，并且具有至少一个第二阀驱动器(7)用于使封闭机构(4)在中间位置和关闭位置之间沿着第二、与第一运动轨道(6)成角度的运动轨道(8)运动，其中阀(1)具有至少一个用于借助于第二阀驱动器(7)进行可逆变形所设置的传动部件(9)并且第一阀驱动器(5)在传动部件(9)中间连接的情况下作用在封闭机构(4)处。

公开(公告)号：CN106062942A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201580014298.4

申请日：2015-02-27

Applicant: VAT控股公司

Inventor： F.埃尔内 ,  C.巴奇曼恩 ,  M.内特泽 ,  M.沃扎塞克

IPC: H01L21/67

CPC classification number: F16K3/0263 ,  F16K3/0218 ,  F16K3/0254 ,  F16K51/02 ,  H01L21/67126

Abstract: 用于真空阀的阀杆（12），该阀杆带有用于真空阀的闭锁器件（5）的第一连接区域（40）并且带有至少一个用于真空阀的阀驱动装置的第二连接区域（41），其中，阀杆（12）至少以区段的方式具有带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料（42）。

公开(公告)号：CN103574139B

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201310304286.8

申请日：2013-07-19

Applicant: VAT 控股公司

Inventor： F.埃尔内

IPC: F16K31/122 ,  F16K3/314 ,  F16K3/316 ,  F16K51/02

CPC classification number: F16K51/02 ,  F16K3/184 ,  F16K3/186 ,  F16K3/3165

Abstract: 本发明涉及一种真空阀，包括：带有第一和第二阀开口的阀壳体，阀开口具有平行的轴线且相应由阀座包围；第一和第二阀板，其可在打开位置、中间位置与关闭之间调节；以及承载单元，由其来承载阀板且承载单元具有驱动元件以用于在中间位置－在其中阀板覆盖相应的阀开口但从阀座提起－与闭合位置之间调节第一和第二阀板，驱动元件相应地包括具有至少一个气缸室的气缸和布置在气缸室中的带有活塞杆的至少一个活塞，活塞与阀板中的一个相连接。承载单元具有至少一个第一和第二支杆，驱动元件的气缸与支杆刚性地相连接，其中，气缸相应地跨越处在第一和第二支杆之间的中间腔，支杆在相对而置的侧部上侧向地布置在驱动元件的活塞杆旁边。