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公开(公告)号：CN104864110A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201410059546.4
申请日：2014-02-21
Applicant: 广东昭信半导体装备制造有限公司
IPC: F16K3/18
CPC classification number: F16K3/182
Abstract: 本发明公开了一种闸板阀，尤其是一种应用在高真空系统的真空闸板阀，主要包括密封腔、驱动板、平行四边形机构、闸板、驱动杆、导轨、截止板、后盖、密封圈槽、密封腔框架，驱动板和闸板相对平行，驱动板在导轨上滑动并通过平行四边形机构带动闸板移动，利用平行四边形原理实现闸板平稳运动，闸板在截止板处运动后，平行四边形机构变形对闸板施加压紧力以实现密封腔密封。本发明的优点是结构简单，平行四边形机构的运用使闸板在运动时保持平稳，以提高密封效果，尤其在大面积闸板阀应用中有效，同时通过平行四边形机构施加压紧力可以保证紧密密封；压紧杆也可以在较小的长度下实现足够的压紧力保证密封，可以使结构简单紧凑，节省空间和成本。
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公开(公告)号：CN102057193B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN200980121365.7
申请日：2009-05-06
Applicant: VAT控股公司
Inventor： F·埃尔尼
IPC: F16K3/18
Abstract: 本发明涉及一种滑动阀，其包括阀体(1)、阀板(5)、至少一个沿轴线方向能够移动的阀杆(8)、至少一个使阀板(5)从它的中间位置行进至它的关闭位置的行程元件(10，11)以及至少一个带有至少一个前支撑元件和至少一个后支撑元件(14，13)的支撑单元(12)，阀体(1)带有具有阀开口(3)的壁部和围绕阀开口(3)的阀座(4)，阀杆(8)为了关闭阀而能够从第一位置出发经第二位置移动至第三位置，在第一位置中，阀板(5)占据它的开启位置，在第二位置中，阀板(5)占据覆盖阀开口(3)，但从阀座(4)抬离的中间位置，在第三位置中，阀板(5)占据它的关闭位置，前支撑元件和后支撑元件(14，13)在阀板(5)的关闭位置中与至少一个固定于阀体的前支撑元件和至少一个固定于阀体的后支撑元件(16，15)共同起作用。在阀杆(8)的第二位置中，或者后支撑元件(13，15)相接合，或者前支撑元件(14，16)相接合，而其它支撑元件(14，16；13，15)相互间隔。支撑单元(12)在阀杆(8)从它的第二位置移动至它的第三位置时围绕旋转轴线(17)从起始位置摆动至终止位置，在该起始位置中，其它支撑元件(14，16；13，15)相互间隔，在该终止位置中，其它支撑元件(14，16；13，15)相互靠碰。
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公开(公告)号：CN101970918A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200880121748.X
申请日：2008-12-19
Applicant: 欧瑞康太阳IP股份公司(特吕巴赫)
Abstract: 一种用于真空腔室的闸门阀包括两个托架(5a)，其中每个托架通过两个平行的链接(6)连接到提供基本上平的前部的框架结构并通过平行杆(14)连接到致动杆(12a)。活塞(17)通过杆(14)引起致动杆(12a)向上运动，托架(5a)的向上运动通过链接(6)转换为环形运动，其中托架(5a)同时靠近前部并保持与其平行，移动固定在托架(5a)上的密封板(9)到达工作位置，在此其压靠前部并密封其中的开口(3)。活塞(17)的取出产生相反运动，从而密封板(9)完全从开口(3)移走而使开口(3)更容易通入。
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公开(公告)号：CN104896129A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510246446.7
申请日：2015-05-15
Applicant: 营口埃斯威特阀门有限公司
IPC: F16K3/18
CPC classification number: F16K3/182
Abstract: 本发明属于一种平行式双闸板闸阀，包括在阀杆螺母（14）的上端用圆螺母（18）固定一个手轮（17），其特征在于阀杆（7）与铰链架（6）连接，铰链架（6）用铰链臂二（33）与铰链臂一（5）连接；铰链臂一（5）用铰链销一（4）与闸板（3）连接；铰链臂一（5）和铰链架（6）均装在闸板架（34）中组成一个关闭部件；闸板架（34）与阀杆（7）之间装有弹簧（30）。该发明密封性能好，双面强制密封，不泄漏，密封面无摩损及擦伤。节省材料，成本低，拆装维修方便快捷，操作扭矩小，启闭灵活。
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公开(公告)号：CN103899762A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201310741557.6
申请日：2013-12-27
Applicant: VAT控股公司
Inventor： 托马斯·布莱哈
IPC: F16K1/00 , F16K1/32 , F16K31/44 , F16K31/122 , F16K51/02
CPC classification number: F16K3/16 , F16K3/182 , F16K3/186 , F16K51/02 , F16K31/122
Abstract: 本发明涉及一种真空滑阀，其具有设于真空区外的驱动单元，该驱动单元如此构成，使得关断板通过至少一个阀杆沿纵轴线的移动而能从打开位置移动至中间位置，并且通过所述阀杆沿垂直于纵轴线延伸的横轴线的移动从中间位置移动至关闭位置。阀杆与滑动部件刚性固定连接，滑动部件借助导向机构在第一位置和第二位置之间平行于纵轴线地被导向移动并且在第二位置和第三位置之间平行于横轴线地被导向移动。驱动单元具有线性致动器，其包括可平行于纵轴线线性移动的移位部件，该移位部件与滑动部件通过倾斜连接机构机械连接，使得相对于纵闭方向倾斜指向的力被施加至滑动部件以使该滑动部件从第一位置移动到第二位置并从第二位置移入第三位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101319737A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810110106.1
申请日：2008-06-10
Applicant: VAT控股公司
Inventor： 丹尼尔·塞茨
Abstract: 本发明涉及一种具有翼板元件的真空闸阀，其包括封闭盘，用于通过移位到开口上方并且将封闭盘压在开口上来气密地封闭开口。封闭盘与其联接的连接杆利用线性驱动单元可线性调节，因此封闭盘可在暴露开口的位置和中间位置之间移位，在该中间位置所述盘被推到该开口上。为了利用接合元件使封闭盘通过其封闭侧而压在阀座上，从而处于闭合位置，将至少两个翼板可枢转地在一个翼板端部经由第一接合部安装在封闭盘的背面上，并且在另一个翼板端部经由第二接合部安装在支承件上。该翼板、背面和支承件形成铰接的平行四边形。每个翼板与相应的第一、第二接合部形成由弹性材料构成的共用一体式部件，该第一接合部和第二接合部分别由翼板上的薄壁柔性区段形成。
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公开(公告)号：CN103899762B
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201310741557.6
申请日：2013-12-27
Applicant: VAT控股公司
Inventor： 托马斯·布莱哈
IPC: F16K1/00 , F16K1/32 , F16K31/44 , F16K31/122 , F16K51/02
Abstract: 本发明涉及一种真空滑阀，其具有设于真空区外的驱动单元，该驱动单元如此构成，使得关断板通过至少一个阀杆沿纵轴线的移动而能从打开位置移动至中间位置，并且通过所述阀杆沿垂直于纵轴线延伸的横轴线的移动从中间位置移动至关闭位置。阀杆与滑动部件刚性固定连接，滑动部件借助导向机构在第一位置和第二位置之间平行于纵轴线地被导向移动并且在第二位置和第三位置之间平行于横轴线地被导向移动。驱动单元具有线性致动器，其包括可平行于纵轴线线性移动的移位部件，该移位部件与滑动部件通过倾斜连接机构机械连接，使得相对于纵闭方向倾斜指向的力被施加至滑动部件以使该滑动部件从第一位置移动到第二位置并从第二位置移入第三位置。
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公开(公告)号：CN101970918B
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN200880121748.X
申请日：2008-12-19
Applicant: 东电电子太阳能股份公司
Abstract: 一种用于真空腔室的闸门阀包括两个托架(5a)，其中每个托架通过两个平行的链接(6)连接到提供基本上平的前部的框架结构并通过平行杆(14)连接到致动杆(12a)。活塞(17)通过杆(14)引起致动杆(12a)向上运动，托架(5a)的向上运动通过链接(6)转换为环形运动，其中托架(5a)同时靠近前部并保持与其平行，移动固定在托架(5a)上的密封板(9)到达工作位置，在此其压靠前部并密封其中的开口(3)。活塞(17)的取出产生相反运动，从而密封板(9)完全从开口(3)移走而使开口(3)更容易通入。
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公开(公告)号：CN102165232A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980137886.1
申请日：2009-09-21
Applicant: VAT控股公司
IPC: F16K3/18 , F16K31/122 , F16K3/316 , F16K41/10 , F16K51/02
Abstract: 本发明涉及真空阀，它包括具有被阀座（4）包围的阀孔（2）的壁体（1）、至少一个设置在真空阀真空范围里面的阀片（5），它可以从打开位置调整到纵向（6）上的中间位置并且从其中间位置调整到垂直于纵向（6）的横向（7）上的关闭位置，还包括至少一个支承阀片（5）的阀杆（12），它从真空阀的真空范围引出来并且可以相对于壁体（1）在平行于阀杆（12）纵轴线（14）的纵向（6）上以及横向（7）上移动，还包括设置在真空阀的真空范围以外的纵向和横向驱动装置（15,15’，16,16’），由它们使阀杆（12）为了使阀片（5）在纵向（6）和横向（7）上调整可以移动。存在一个位于真空阀的真空范围以外的、刚性地与壁体（1）连接的支承单元（17,17’），由它在横向（7）上可移动地导引一个使阀杆（12）在纵向（6）上可移动导引的导向单元（20,20’）。
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公开(公告)号：CN101680553A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880016368.X
申请日：2008-04-19
Applicant: VAT控股公司
Abstract: 一种阀，带有闭锁装置(3)，用于在闭锁装置(3)的关闭位置中的阀开口(1)的尤其气密的闭锁，其中，闭锁装置(3)在关闭过程中可从最大开口的第一位置出发至少在第一部分路段上以带有线性运动分量(22)的方式在朝其关闭位置的方向上被至少一个促动器(4)所移动，并且，用于带有该运动分量的闭锁装置(3)的运动的促动器(4)实施带有线性冲程方向(23)的关闭冲程，其中，促动器(4)相对于闭锁装置(3)如此地被布置，即，使得在从最大开口的第一位置出发的第一部分路段上的闭锁装置(3)的线性运动分量(22)与促动器(4)的线性冲程方向(23)之间设置有非0°和180°的角。
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