公开(公告)号：CN1286154C

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN02147123.1

申请日：2002-10-22

Applicant: UMS有限公司 ,  皮瑞克斯股份有限公司

Inventor： 村冈久志 ,  村冈里江子 ,  佐藤飞鸟 ,  远藤满

IPC: H01L21/3105 ,  G03F7/26 ,  B08B3/00

CPC classification number: G03F7/422 ,  B08B3/02 ,  B08B3/04 ,  B08B2203/005 ,  C09D9/005 ,  C11D7/266 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/423

Abstract: 提供了从基底表面上除去诸如阻焊膜之类的有机膜的方法和设备。此方法和设备，即使在高温下也是非常安全的，并且使用了可以循环并重新使用的处理液。将一般包括碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯或这两种化合物的混合液体的，特别是含有溶解臭氧的处理液与带有有机膜的基底接触，就除去了有机膜。再有，本发明的设备包括(A)将处理液送到处理区的处理液供料装置；(B)在所述处理区中，使处理液与基底表面的有机膜接触的膜接触装置；(C)用于把从处理区排放出来的处理液进行循环和把循环的处理液经过一个或多个暂时的储存装置返回到处理区的液体循环装置；以及(D)在处理区和/或在暂时储存装置中，用于使含臭氧的气体与从处理液进行接触的臭氧溶解装置。

公开(公告)号：CN1414610A

公开(公告)日：2003-04-30

申请号：CN02147123.1

申请日：2002-10-22

Applicant: UMS有限公司 ,  皮瑞克斯股份有限公司

Inventor： 村冈久志 ,  村冈里江子 ,  佐藤飞鸟 ,  远藤满

IPC: H01L21/3105 ,  G03F7/26 ,  B08B3/00

CPC classification number: G03F7/422 ,  B08B3/02 ,  B08B3/04 ,  B08B2203/005 ,  C09D9/005 ,  C11D7/266 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/423

Abstract: 提供了从基底表面上除去诸如阻焊膜之类的有机膜的方法和设备。此方法和设备，即使在高温下也是非常安全的，并且使用了可以循环并重新使用的处理液。将一般包括碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯或这两种化合物的混合液体的，特别是含有溶解臭氧的处理液与带有有机膜的基底接触，就除去了有机膜。再有，本发明的设备包括(A)将处理液送到处理区的处理液供料装置；(B)在所述处理区中，使处理液与基底表面的有机膜接触的膜接触装置；(C)用于把从处理区排放出来的处理液进行循环和把循环的处理液经过一个或多个暂时的储存装置返回到处理区的液体循环装置；以及(D)在处理区和/或在暂时储存装置中，用于使含臭氧的气体与从处理液进行接触的臭氧溶解装置。