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发明公开
氮化硅粉末和氮化硅质烧结体的制造方法审中-实审

公开(公告)号：CN118871385A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202380027880.9

申请日：2023-03-15

Applicant: UBE株式会社

Inventor： 王丸卓司 , 柴田耕司 , 藤井孝行 , 山田哲夫

IPC: C01B21/068 , C04B35/587

Abstract: 本发明提供一种结晶氮化硅粉末，其能够得到具有易烧结性且高温强度等烧结体特性优异的氮化硅质烧结体。另外，本发明提供一种能够制造具有充分的机械强度、并且热传导性优异的氮化硅质烧结体的结晶氮化硅粉末。进而，本发明提供一种兼具高弯曲强度和优异的热传导性的氮化硅质烧结体的制造方法。一种结晶氮化硅粉末，其特征在于，基于BET法的比表面积(SA)为3m2/g以上且16m2/g以下，利用升温形态分析测定的表面氧量(FSO)为0.2质量％以上且0.6质量％以下，利用升温形态分析测定的内部氧量(FIO)为0.4质量％以上且1.3质量％以下，所述表面氧量相对于BET比表面积的比(FSO/SA)为0.25mg/m2以上且小于0.50mg/m2。

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