单晶生长用坩埚、单晶制造方法及单晶

    公开(公告)号:CN113195800A

    公开(公告)日:2021-07-30

    申请号:CN201980080253.5

    申请日:2019-12-03

    Abstract: 本发明是收纳单晶生长用原料熔融液(8)并使其固化的单晶生长用坩埚(5A),其具备:围绕原料熔融液(8)的侧壁部(5s)、及连续于侧壁部(5s)并支撑原料熔融液(8)的底部(5b),侧壁部(5s)在横截面图中,在内侧具有周长冗余性。侧壁部(5s)在横截面图中,在任一部位上在内侧具有周长冗余的部位,如果在单晶生长后的冷却步骤中单晶生长用坩埚(5A)被冷却,则在横截面图中,在内侧周长冗余的部位向单晶生长用坩埚(5A)的外侧扩展。

    单晶生长用坩埚、单晶制造方法及单晶

    公开(公告)号:CN113195800B

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN201980080253.5

    申请日:2019-12-03

    Abstract: 本发明是收纳单晶生长用原料熔融液(8)并使其固化的单晶生长用坩埚(5A),其具备:围绕原料熔融液(8)的侧壁部(5s)、及连续于侧壁部(5s)并支撑原料熔融液(8)的底部(5b),侧壁部(5s)在横截面图中,在内侧具有周长冗余性。侧壁部(5s)在横截面图中,在任一部位上在内侧具有周长冗余的部位,如果在单晶生长后的冷却步骤中单晶生长用坩埚(5A)被冷却,则在横截面图中,在内侧周长冗余的部位向单晶生长用坩埚(5A)的外侧扩展。

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