公开(公告)号：CN1312728C

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN03155667.1

申请日：2003-09-01

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 野口隆男 ,  斋藤久俊 ,  阿部秀典 ,  山下喜就

IPC: H01L21/00 ,  H01L33/00 ,  H01L41/02 ,  H03H9/02

CPC classification number: H03H3/02 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02488 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02502 ,  H01L21/02516 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02609 ,  H01L21/2855 ,  H01L21/32051 ,  H01L29/045 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/29 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319 ,  H01L2224/48091 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/02133 ,  H03H9/174 ,  H03H9/176 ,  H01L2924/00014

Abstract: 一种电子器件基片结构，包括：基片(2)，被形成于基片(2)上作为面心立方结构的(111)定向膜或作为六方最密结构的(0001)定向膜的金属薄膜(4)，以及具有被形成于金属薄膜(4)上作为纤锌矿晶体结构的(0001)定向的纤锌矿型薄膜(5)，其中：两种薄膜的每个都是多晶膜，其包含在所述平面中的晶体定向的方向不同的至少两种晶粒；当金属薄膜(4)是(111)定向膜时，纤锌矿型薄膜(5)的平面中的 轴平行于金属薄膜4的平面中的 轴；并且当金属薄膜(4)是(0001)定向膜时，纤锌矿型薄膜(5)的平面中的 轴平行于金属薄膜(4)的平面中的 轴。

公开(公告)号：CN1487563A

公开(公告)日：2004-04-07

申请号：CN03155667.1

申请日：2003-09-01

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 野口隆男 ,  斋藤久俊 ,  阿部秀典 ,  山下喜就

IPC: H01L21/00 ,  H01L33/00 ,  H01L41/02 ,  H03H9/02

CPC classification number: H03H3/02 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02488 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02502 ,  H01L21/02516 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02609 ,  H01L21/2855 ,  H01L21/32051 ,  H01L29/045 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/29 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319 ,  H01L2224/48091 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/02133 ,  H03H9/174 ,  H03H9/176 ,  H01L2924/00014

Abstract: 一种电子器件基片结构，包括：基片2，被形成于基片2上作为面心立方结构的(111)定向膜或作为六方最密结构的(0001)定向膜的金属薄膜4，以及具有被形成于金属薄膜4上作为纤锌矿晶体结构的(0001)定向的纤锌矿型薄膜5，其中：两种薄膜的每个都是多晶膜，其包含在所述平面中的晶体定向的方向不同的至少两种晶粒；当金属薄膜4是(111)定向膜时，纤锌矿型薄膜5的平面中的 轴平行于金属薄膜4的平面中的 轴；并且当金属薄膜4是(0001)定向膜时，纤锌矿型薄膜5的平面中的 轴平行于金属薄膜4的平面中的 轴。