公开(公告)号：CN102798441A

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN201210163894.7

申请日：2012-05-24

Applicant: SPTS技术有限公司

Inventor： S·琼斯 ,  宋一平

IPC: G01F25/00

CPC classification number: G01L13/00 ,  G01F25/0038 ,  G01F25/0053 ,  G06F17/00

Abstract: 本发明涉及一种监视连接到压力腔室的用于向处于不受抽吸状态的所述腔室供气的质量流控制器（MFC）的方法，包括周期地切换所述MFC以为测试时段创建连续的填充周期以及在所述测试时段期间间隔地测量所述腔室压力，其特征在于，所述MFC的总切换时间为所述填充周期的至少10%，以及所述方法包括获得压力测量结果的平均值并把它们与历史数据比较以判断所述MFC是否正常运转。

公开(公告)号：CN102798441B

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201210163894.7

申请日：2012-05-24

Applicant: SPTS技术有限公司

Inventor： S·琼斯 ,  宋一平

IPC: G01F25/00

CPC classification number: G01L13/00 ,  G01F25/0038 ,  G01F25/0053 ,  G06F17/00

Abstract: 本发明涉及一种监视连接到压力腔室的用于向处于不受抽吸状态的所述腔室供气的质量流控制器（MFC）的方法，包括周期地切换所述MFC以为测试时段创建连续的填充周期以及在所述测试时段期间间隔地测量所述腔室压力，其特征在于，所述MFC的总切换时间为所述填充周期的至少10%，以及所述方法包括获得压力测量结果的平均值并把它们与历史数据比较以判断所述MFC是否正常运转。