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公开(公告)号：CN103717376A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201280027116.3
申请日：2012-05-24
Applicant: SCIVAX股份有限公司
IPC: B29C59/02 , G11B5/84 , H01L21/027
CPC classification number: G11B5/855
Abstract: 本发明提供一种能够切实地除去模具与被成型物之间的气体的压印装置以及压印方法。用于将模具（100）的成型图案转印到被成型物（200）的压印装置包括：加压部（5），其具有用于利用流体对模具（100）与被成型物（200）加压的加压室（51）；载物台（2），其支撑受到加压部（5）的压力的模具（100）以及被成型物（200）；加压机构（6），其用于调节加压室（51）内的流体的压力；减压部（9），其具有用于对模具（100）与被成型物（200）的周围环境进行减压的减压室（91）；以及分离机构（7），其用于在减压室91内将模具（100）与被成型物（200）分离。
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公开(公告)号：CN103717376B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201280027116.3
申请日：2012-05-24
Applicant: SCIVAX股份有限公司
IPC: B29C59/02 , G11B5/84 , H01L21/027
CPC classification number: G11B5/855
Abstract: 本发明提供一种能够切实地除去模具与被成型物之间的气体的压印装置以及压印方法。用于将模具（100）的成型图案转印到被成型物200）的压印装置包括：加压部（5），其具有用于利用流体对模具（100）与被成型物（200）加压的加压室（51）；载物台（2），其支撑受到加压部（5）的压力的模具（100）以及被成型物（200）；加压机构（6），其用于调节加压室（51）内的流体的压力；减压部（9），其具有用于对模具（100）与被成型物200）的周围环境进行减压的减压室（91）；以及分离机构（7），其用于在减压室91内将模具（100）与被成型物（200）分离。
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公开(公告)号：CN103826829A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201280034361.7
申请日：2012-07-06
Applicant: SCIVAX股份有限公司
IPC: B29C59/02 , G11B5/84 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种即使转印面积扩大也能够使用小型的开闭机构的压印装置。本发明提供一种用于将模具的成型图案转印到被成型物的压印装置，为用于将模具（100）的成型图案转印到被成型物（200）的装置，并由以下部件构成：具有用于通过流体对模具（100）和被成型物（200）进行加压的加压室（51）的加压部（5），支撑受到加压部（5）的压力的模具（100）以及被成型物（200）的载物台（2），调节加压室（51）内的流体压力的加压机构（6），用于使加压部（5）和载物台（2）相对移动的开闭机构（8），以及固定加压部（5）和载物台（2）以防止或抑制产生于加压部（5）的力施加到开闭机构（8）的固定工具（1）。
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公开(公告)号：CN103826829B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201280034361.7
申请日：2012-07-06
Applicant: SCIVAX股份有限公司
IPC: B29C59/02 , G11B5/84 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种即使转印面积扩大也能够使用小型的开闭机构的压印装置。本发明提供一种用于将模具的成型图案转印到被成型物的压印装置，为用于将模具（100）的成型图案转印到被成型物（200）的装置，并由以下部件构成：具有用于通过流体对模具（100）和被成型物（200）进行加压的加压室（51）的加压部（5），支撑受到加压部（5）的压力的模具（100）以及被成型物（200）的载物台（2），调节加压室（51）内的流体压力的加压机构（6），用于使加压部（5）和载物台（2）相对移动的开闭机构（8），以及固定加压部（5）和载物台（2）以防止或抑制产生于加压部（5）的力施加到开闭机构（8）的固定工具（1）。
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