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公开(公告)号:CN108781020B
公开(公告)日:2021-03-09
申请号:CN201780018887.9
申请日:2017-03-24
Applicant: NTN株式会社
Abstract: 电动致动器具备:驱动部(2);将来自驱动部(2)的旋转运动转换为与驱动部(2)的输出轴平行的轴向的直线运动的运动转换机构部(3);具有从驱动部(2)向运动转换机构部(3)传递驱动力的传递齿轮机构(28)的驱动力传递部(4);防止运动转换机构部(3)的驱动的锁定机构部(7),其中,传递齿轮机构(28)具有配置在驱动部(2)侧的第一齿轮(30)及配置在运动转换机构部(3)侧的第二齿轮(31),锁定机构部(7)配置在相对于第一齿轮(30)而与驱动部(2)相反的一侧,且相对于第一齿轮(30)的旋转中心线(X)靠运动转换机构部(3)侧配置。
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公开(公告)号:CN108781020A
公开(公告)日:2018-11-09
申请号:CN201780018887.9
申请日:2017-03-24
Applicant: NTN株式会社
Abstract: 电动致动器具备:驱动部(2);将来自驱动部(2)的旋转运动转换为与驱动部(2)的输出轴平行的轴向的直线运动的运动转换机构部(3);具有从驱动部(2)向运动转换机构部(3)传递驱动力的传递齿轮机构(28)的驱动力传递部(4);防止运动转换机构部(3)的驱动的锁定机构部(7),其中,传递齿轮机构(28)具有配置在驱动部(2)侧的第一齿轮(30)及配置在运动转换机构部(3)侧的第二齿轮(31),锁定机构部(7)配置在相对于第一齿轮(30)而与驱动部(2)相反的一侧,且相对于第一齿轮(30)的旋转中心线(X)靠运动转换机构部(3)侧配置。
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公开(公告)号:CN102201355A
公开(公告)日:2011-09-28
申请号:CN201110050773.7
申请日:2011-02-24
Applicant: NTN株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/677 , G01N21/956 , B65G49/06 , H01L21/66
Abstract: 一种缺陷修正装置(1),配置有供玻璃基板(99)装载的一对基板端支承台3。在一对基板端支承台(3)之间的区域内配置有多个基板支承用滚轮机构(4),这些基板支承用滚轮机构(4)从下方对玻璃基板(99)予以支承。基板支承用滚轮机构(4)安装有将所装载的玻璃基板(99)的下表面吸附并保持的基板吸附台(26)。藉此,能得到用更简易的结构来对基板进行保持的基板保持装置和应用该基板保持装置的缺陷修正装置。
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