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公开(公告)号:CN1959385A
公开(公告)日:2007-05-09
申请号:CN200610143301.5
申请日:2006-11-03
Applicant: LG电子株式会社
IPC: G01N21/896 , G01R31/308 , H01L21/66
Abstract: 本发明提供一种可正确检查载带产品的检查装置。本发明涉及一种检查印刷了电路图案的载带产品的装置及方法。根据本发明,具有可透过部分光的透光辊,载带产品一边与透光辊的一部分接触一边被传送,上述透光辊通过驱动源一边旋转一边提供载带产品的传送力,并且,在透光辊的内部设有照明单元,通过在透光辊的左右侧下部分别设置的一对导向辊,载带产品开始与上述透光辊接触,或与透光辊分离。在载带产品与透光辊接触的期间,利用透光辊内部设置的透明单元的透过光,线阵相机获得线阵图像。与此同时,利用透光辊的外侧设置的另一照明单元的反射光,另一线阵相机获得线阵图像,利用一对线阵相机获得的图像,可正确判断载带产品的优劣。
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公开(公告)号:CN1743860A
公开(公告)日:2006-03-08
申请号:CN200510099675.7
申请日:2005-09-02
Applicant: LG电子株式会社
CPC classification number: G01R31/315 , B82Y25/00 , G01R15/148 , G01R15/202 , G01R31/02 , G01R33/0358 , G01R33/07 , G01R33/09 , G01R33/093
Abstract: 本发明涉及一种传感器,该传感器可以无触点的方式来对形成于诸如平板显示器中所使用的各种板之上的高密度集成导线之间的短路进行检测,其中电场被一导体而阻断。根据本发明,本发明的优点在于其可极大的改善检测性能并可提高这样的能力,即与平板显示器的情况一样,当在磁传感器上感应出由于电场的感应所引起的电动势时,可在检测磁场时对短路缺陷进行检测,以便可与诸如外部形状测试器这样的其他缺陷测试器相协同而在制造过程的初期阶段快速的检测出金属图形中的缺陷并对其进行校正,由此可显著的降低返工成本。
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公开(公告)号:CN1959385B
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN200610143301.5
申请日:2006-11-03
Applicant: LG电子株式会社
IPC: G01N21/896 , G01R31/308 , H01L21/66
Abstract: 本发明提供一种可正确检查载带产品的检查装置。本发明涉及一种检查印刷了电路图案的载带产品的装置及方法。根据本发明,具有可透过部分光的透光辊,载带产品一边与透光辊的一部分接触一边被传送,上述透光辊通过驱动源一边旋转一边提供载带产品的传送力,并且,在透光辊的内部设有照明单元,通过在透光辊的左右侧下部分别设置的一对导向辊,载带产品开始与上述透光辊接触,或与透光辊分离。在载带产品与透光辊接触的期间,利用透光辊内部设置的透明单元的透过光,线阵相机获得线阵图像。与此同时,利用透光辊的外侧设置的另一照明单元的反射光,另一线阵相机获得线阵图像,利用一对线阵相机获得的图像,可正确判断载带产品的优劣。
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公开(公告)号:CN101666845A
公开(公告)日:2010-03-10
申请号:CN200910168373.9
申请日:2009-08-31
Applicant: LG电子株式会社
Abstract: 一种对平板显示器的电极线进行检查的装置和方法。其中,该装置包括:探针单元,其对平板显示器的电极线施加信号;磁场传感器或电场传感器,其对平板显示器的电极线的磁场或电场进行检测;相机,其对平板显示器的电极线进行拍摄;图像处理器,其对由相机拍摄的图像进行处理;控制器,其对探针单元、磁场传感器或电场传感器、相机和图像处理器进行控制。
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