基板保持工具、电子仪器制造方法、光掩膜的制造方法

    公开(公告)号:CN100343971C

    公开(公告)日:2007-10-17

    申请号:CN200410032774.9

    申请日:2004-04-21

    Inventor: 千绵刚

    Abstract: 一种基板保持工具,可保持尺寸不同的基板,使基板的搬运容易,防止掉落。在以让四边形基板的主表面沿着垂直方向的方式保持四边形基板(1)的基板保持工具中,设置有以给定角度倾斜的状态从下方支撑基板相邻两边的基板支撑部,所述基板支撑部具有从下方支撑长方形基板的长边的长边支撑区域、和从下方支撑所述长方形基板的短边的短边支撑区域,所述长边支撑区域相对于水平面的角度大于10°并且小于或等于30°,所述基板支撑部通过设在所述长边支撑区域和短边支撑区域上的多个相同的支撑部件支持所述基板的重量,并且所述基板支撑部能够保持具有比所述长边支撑区域长的长边或比所述短边支撑区域长的短边的基板。

    基板保持工具、电子仪器制造方法、光掩膜的制造方法

    公开(公告)号:CN1540737A

    公开(公告)日:2004-10-27

    申请号:CN200410032774.9

    申请日:2004-04-21

    Inventor: 千绵刚

    Abstract: 一种基板保持工具,可以保持尺寸不同的基板,而且使基板的搬运容易,能防止基板的掉落。此外,在电子仪器或光掩膜的制造中,能减少必要的基板保持工具的种类或个数,削减设备成本,同时,能使基板的搬运容易,可提高生产性。在以让四边形基板(1)的主表面沿着垂直方向的方式保持四边形基板(1)的基板保持工具(10、20、30、40)中,设置有以给定角度倾斜的状态从下方支撑基板1相邻两边的基板支撑部(12、22、32、42)。另外,对基(1)板实施给定处理、制造电子仪器或光掩膜的制造工序,在进行基板(1)的临时待机、保管、搬运等时,用上述的基板保持工具(10、20、30、40)保持基板(1)。

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