公开(公告)号：CN86105419A

公开(公告)日：1987-04-29

申请号：CN86105419

申请日：1986-08-27

Applicant: FSI公司 ,  得克萨斯仪器公司

Inventor： 罗伯特·S·布莱克伍德 ,  雷克斯·L·比格斯塔夫 ,  L·戴维斯·克莱门茨 ,  C·林·克利夫林

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/461 ,  H01L21/70 ,  C23F1/00 ,  B08B5/00

CPC classification number: H01L21/31116

Abstract: 从衬底上去除至少部分薄膜的方法，保持环绕 衬底的大气在接近室温和通常大气压力下，在衬底 上通入干燥惰性稀释气体，通过通入水蒸汽覆盖衬 底和薄膜来预处理薄膜，在衬底上通入来自与水蒸 汽发生源分开的发生源的水蒸汽和无水氟化氢气 体，继续通入反应气体流，大多数情况为5至30秒，直 至去除控制量的薄膜，终止反应气体流并继续通入 干燥惰性稀释气体，终止薄膜去除。

公开(公告)号：CN1005803B

公开(公告)日：1989-11-15

申请号：CN86105419

申请日：1986-08-27

Applicant: FSI公司 ,  得克萨斯仪器公司

Inventor： 罗伯特·S·布莱克伍德 ,  雷克斯·L·比格斯塔夫 ,  L·戴维斯·克莱门茨 ,  C·林·克利夫林

IPC: H01L21/302

CPC classification number: H01L21/31116

Abstract: 从衬底上去除至少部分薄膜的方法，保持环绕衬底的大气在接近室温和通常大气压力下，在衬底上通入干燥惰性稀释气体，通过通入水蒸汽覆盖衬底和薄膜来预处理薄膜，在衬底上通入来自与水蒸汽发生源分开的发生源的水蒸汽和无水氟化氢气体，继续通入反应气体流，典型为5至30秒，直至去除控制量的薄膜，终止反应气体流并继续通入干燥惰性稀释气体终止薄膜去除。