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公开(公告)号：CN111052298A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201880050688.0
申请日：2018-07-18
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： F·N·张 , 陈仲玮 , 王義向 , Y·C·沈
IPC: H01J37/26 , H01J37/28
Abstract: 公开了用于在带电粒子束装置中实施带电粒子浸没的系统和方法。根据特定实施例，带电粒子束系统包括带电粒子源和控制器，控制器控制带电粒子束系统以第一模式和第二模式发射带电粒子束，在第一模式中束被散焦，而在第二模式中束被聚焦在样本的表面上。
公开(公告)号：CN111052298B
公开(公告)日：2022-09-02
公开(公告)号：CN115206757A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210998811.X
IPC: H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/04
