知搜-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

5 records (took 0.024 seconds)

    利用多个带电粒子束检查样本的方法
    2.
    发明公开
    利用多个带电粒子束检查样本的方法 有权

    公开(公告)号：CN111066118A

    公开(公告)日：2020-04-24

    申请号：CN201880058003.7

    申请日：2018-08-28

    Applicant: ASML荷兰有限公司

    Inventor： 曾国峰 ,  董仲华 ,  王義向 ,  陈仲玮

    IPC: H01J37/28

    Abstract: 本文公开了一种设备，包括：被配置为发射带电粒子的源、光学系统和台架；其中台架被配置为在其上支撑样本并且被配置为将样本在第一方向上移动第一距离；其中光学系统被配置为利用带电粒子在样本上形成探测点；其中光学系统被配置为在台架将样本在第一方向上移动第一距离时，将探测点同时在第一方向上移动第一距离并且在第二方向上移动第二距离；其中光学系统被配置为在台架将样本在第一方向上移动第一距离之后，将探测点在第一方向的相反方向上移动第一距离减去探测点之一的宽度。

    利用多个带电粒子束检查样本的方法
    3.
    发明授权
    利用多个带电粒子束检查样本的方法 有权

    公开(公告)号：CN111066118B

    公开(公告)日：2023-04-11

    申请号：CN201880058003.7

    申请日：2018-08-28

    Applicant: ASML荷兰有限公司

    Inventor： 曾国峰 ,  董仲华 ,  王義向 ,  陈仲玮

    IPC: H01J37/28

    Abstract: 本文公开了一种设备，包括：被配置为发射带电粒子的源、光学系统和台架；其中台架被配置为在其上支撑样本并且被配置为将样本在第一方向上移动第一距离；其中光学系统被配置为利用带电粒子在样本上形成探测点；其中光学系统被配置为在台架将样本在第一方向上移动第一距离时，将探测点同时在第一方向上移动第一距离并且在第二方向上移动第二距离；其中光学系统被配置为在台架将样本在第一方向上移动第一距离之后，将探测点在第一方向的相反方向上移动第一距离减去探测点之一的宽度。

    针对离子泵的振动阻尼和共振减小
    4.
    发明公开
    针对离子泵的振动阻尼和共振减小 审中-实审

    公开(公告)号：CN115066739A

    公开(公告)日：2022-09-16

    申请号：CN202180013090.6

    申请日：2021-02-04

    Applicant: ASML荷兰有限公司

    Inventor： 付晨曦 ,  狄隆 ,  L·库因德尔斯玛 ,  曾国峰 ,  P·P·亨佩尼尤斯 ,  刘瑜 ,  罗映

    IPC: H01J41/12 ,  F16L23/032

    Abstract: 用于对安装有泵的真空容器的振动进行阻尼的设备和系统包括：泵体以及与泵体耦合的阻尼元件，其中泵体和阻尼元件形成基于质量的阻尼器，并且其中泵体形成基于质量的阻尼器的质量部件；并且阻尼元件形成基于质量的阻尼器的阻尼部件。设备和系统还包括：泵体，其被配置为固定到带电粒子检查设备的柱体；与泵体耦合的传感器；与泵体耦合的致动器；以及与传感器和致动器通信地耦合的电路，该电路用于接收指示柱体的振动的运动数据、基于运动数据来确定阻尼、以及根据阻尼来将致动器致动为对柱体的振动作出反应。

Patent Agency Ranking