公开(公告)号：CN1226650C

公开(公告)日：2005-11-09

申请号：CN00811629.6

申请日：2000-08-01

Applicant: ADC电信股份公司

Inventor： N·张

IPC: G02B26/02 ,  H02N1/00 ,  B81B3/00 ,  G02B6/26

CPC classification number: G02B6/357 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00182 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2203/0136 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3544 ,  G02B6/3584 ,  H02N1/008

Abstract: 提供了具有改善特性的一种基于MEMS的光学开关(100)，以及用于制造该光学开关的方法。根据一个实施例，光学开关包括具有偏移梁结构(124)的单梳(122)驱动致动器(104)和与致动器耦合的镜(102)。镜能在插入在所述波导通道(106)间的伸展位置和远离所述波导通道的收缩位置之间移动。致动器施加力就能将梁结构偏移并将镜向伸展位置或收缩位置之一移动，并且在不施加力时，梁结构将镜返回到伸展位置或收缩位置中的另一位置。

公开(公告)号：CN1370284A

公开(公告)日：2002-09-18

申请号：CN00811629.6

申请日：2000-08-01

Applicant: ADC电信股份公司

Inventor： N·张

IPC: G02B26/02 ,  H02N1/00 ,  B81B3/00 ,  G02B6/26

CPC classification number: G02B6/357 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00182 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2203/0136 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3544 ,  G02B6/3584 ,  H02N1/008

Abstract: 提供了具有改善特性的一种基于MEMS的光学开关(100),以及用于制造该光学开关的方法。根据一个实施例,光学开关包括具有偏移梁结构(124)的单梳(122)驱动致动器(104)和与致动器耦合的镜(102)。镜能在插入在所述波导通道(106)间的伸展位置和远离所述波导通道的收缩位置之间移动。致动器施加力就能将梁结构偏移并将镜向伸展位置或收缩位置之一移动,并且在不施加力时,梁结构将镜返回到伸展位置或收缩位置中的另一位置。