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公开(公告)号：CN111048668B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN201911352144.2
申请日：2019-12-23
Applicant: 麦耀华 , 广州暨南大学科技园管理有限公司
IPC: H01L51/42 , H01L51/46 , H01L51/48 , H01L31/18 , H01L31/032
Abstract: 本发明属于薄膜太阳电池领域，公开了一种基于液相法的钙钛矿薄膜的制备方法。所述方法具体为：将钙钛矿前驱体溶液沉积在衬底上形成液膜，然后在热台上放置一个导热模块，并将衬底悬浮于热台上进行烘烤，当钙钛矿薄膜衬底上的颜色逐渐加深后，取下衬底并放置在热台表面上进行退火处理，获得钙钛矿薄膜。本发明通过对衬底中心位置的热台上放置一个导热模块，从而增强了衬底在中心区域的烘烤温度，从而使衬底上边缘区域和中心区域上的钙钛矿晶核同时析出，改善了由于晶核析出存在滞后现象而引起的薄膜不均匀性问题。同时该方法可调整导热模块的尺寸及形状，从而保证衬底的中心区域不会由于衬底尺寸的增大，而造成晶核析出的滞后。
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