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公开(公告)号：CN108941584A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201811042186.1
申请日：2018-09-07
Applicant: 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
CPC classification number: B22F9/04 , B22F3/04 , B22F3/1007 , B22F3/15 , B22F3/24 , B22F5/106 , B22F2003/248 , B22F2009/041 , B22F2998/10 , B22F2999/00 , C22C27/04 , B22F2201/11 , B22F2201/013 , B22F2201/20
Abstract: 本发明涉及一种长钼管溅射靶材的制备方法，其包括以下步骤：S1压制钼管坯：将混匀后的钼粉装入冷等静压模具的管形空腔中，在150‑200MPa下压制钼粉成管状，然后脱去冷等静压模具得到钼管坯，对钼管坯端头及外圆进行修整；S2烧结钼管坯：将钼管坯置于氢气环境中于1800‑2000℃烧结4‑10h，并修整烧结后的钼管坯；S3拼接长钼管：将若干根步骤S2所得的钼管坯纵向依次叠加在热等静压模具的管形空腔内，然后检查管形空腔的气密性，筛选出气密性合格的进行热等静压处理得到一根长钼管，所述长钼管包覆于热等静压模具中；S4校直长钼管：对包覆有长钼管的热等静压模具进行热校直处理，然后脱去模具得到长钼管溅射靶材。
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公开(公告)号：CN111534800A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010363526.1
申请日：2020-04-30
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 , 韶关市欧莱高新材料有限公司
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸钼铌平面靶材的制备方法，包括1)粉末造粒步骤、2)热等静压步骤、3)热变形步骤和清洗加工步骤。通过本发明的制备方法，制造出组织成分均匀、平均晶粒度小、含氧量低、纯度高和密度高的大尺寸靶材，本发明的制备方法制备的大尺寸靶材满足溅射靶材的镀膜要求。
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公开(公告)号：CN108941584B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201811042186.1
申请日：2018-09-07
Applicant: 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Abstract: 本发明涉及一种长钼管溅射靶材的制备方法，其包括以下步骤：S1压制钼管坯：将混匀后的钼粉装入冷等静压模具的管形空腔中，在150‑200MPa下压制钼粉成管状，然后脱去冷等静压模具得到钼管坯，对钼管坯端头及外圆进行修整；S2烧结钼管坯：将钼管坯置于氢气环境中于1800‑2000℃烧结4‑10h，并修整烧结后的钼管坯；S3拼接长钼管：将若干根步骤S2所得的钼管坯纵向依次叠加在热等静压模具的管形空腔内，然后检查管形空腔的气密性，筛选出气密性合格的进行热等静压处理得到一根长钼管，所述长钼管包覆于热等静压模具中；S4校直长钼管：对包覆有长钼管的热等静压模具进行热校直处理，然后脱去模具得到长钼管溅射靶材。
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公开(公告)号：CN210937122U
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201921340983.8
申请日：2019-08-16
Applicant: 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种金属粉末脱氧还原装置。其包括还原组架和加热炉，所述加热炉包括炉体和炉盖，所述炉体包括一开口向上的炉腔，所述还原组架活动放置在所述炉腔内，并与所述炉腔匹配；用于放置金属粉末的料舟以等间距层叠的方式活动放置在所述还原组架上。本实用新型设计精巧、结构简单，采用料舟以等间距层叠放置在还原组架内的方式，使得还原效率高、还原效果好。
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公开(公告)号：CN210359247U
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201920658514.4
申请日：2019-05-08
Applicant: 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种冷等静压管坯成型模具，通过设置具有锥度的内模，可有效避免因装粉后粉体自重问题造成底部堆积严重，密度过大，压制后变形不均产生局部粗大的现象；设置胶塞替代常规胶套密封，能够有效避免渗水；同时采用刚性外模，能够保证在装料填粉过程中内膜不变形的同时保证后期压坯的变形量和尺寸。使用本实用新型所述的模具压制得到的管体外形均匀完整，无偏心，无哑铃状或底部粗大现象，内壁光滑，两端头平齐，无需进行二次加工修整坯管；在压制过程无渗水现象，操作便捷高效，模具重复利用率高，在保证压坯质量的同时有效地提高了生产效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN210359246U
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201920658473.9
申请日：2019-05-08
Applicant: 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
IPC: B22F3/04
Abstract: 本实用新型提供了一种冷等静压管坯成型的脱模模具，其结构简单可靠，且实用性强；脱模过程无需任何外力挤压，所制得空心管均匀完整，内壁光滑均匀，无任何裂纹及崩边缺陷，可制出均匀的长度为100-4000mm的大尺寸规格空心管坯，无需二次加工修整，模具重复实用效率较高，操作便捷高效，在有效降低生产成本的同时提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN210940601U
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201921303340.6
申请日：2019-08-12
Applicant: 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
IPC: B30B15/02
Abstract: 本实用新型涉及一种冷等静压成型模具，包括阳模，所述阳模为中空柱状结构；阴模，所述阴模设置在所述阳模内部，所述阴模的顶部设置有定位块；和第一橡胶塞和第二橡胶塞，所述第一橡胶塞设置在所述阳模的顶端开口处，所述第一橡胶塞的底部设置有定位槽；所述第二橡胶塞设置在所述阳模的底端开口处；所述阴模的顶部通过定位块与定位槽的配合固定在所述第一橡胶塞上，所述阴模的底部抵住所述第二橡胶塞；所述阴模与所述阳模之间形成型腔。本实用新型通过阴模顶部的定位块与第一橡胶塞上的定位槽相互配合，可以让阴模与阳模的安装和拆卸过程更加方便，提高装配效率。
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公开(公告)号：CN210359051U
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201920796012.8
申请日：2019-05-29
Applicant: 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种提高钼管靶材密度的工装，包括一压模机构和一旋锻机构，该旋锻机构设置在该压模机构一侧。该压模机构中设置有上下相对的上模本体和下模本体；该旋锻机构横向夹持的钼管靶材可匀速横移并伸入压模机构内，并被夹在该上模本体和下模本体之间。该压模机构包括一机架，机架上方设置有一液压缸，该液压缸的液压杆向下穿过机架的顶面并伸入该机架内部；该液压杆的下端连接着横架在机架内部的限位板；该上模本体固定在该限位板的底面，该下模本体固定在机架的底板上且与该上模本体相对。本案的提高钼管靶材密度的工装结构简单稳固、能有效提高钼管靶材的密度，可大幅度降低生产成本。
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公开(公告)号：CN110158042B
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN201910379954.0
申请日：2019-05-08
Applicant: 广东欧莱高新材料股份有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Abstract: 本发明公开了一种钼铌合金旋转靶及其制备方法，其通过将钼粉和铌粉装入模具并在冷等静压作用下成为大尺寸的空心钼铌管压坯，随后装入包套中真空焊接密封，热等静压烧结成管坯，在后期机加工后最终制成钼铌旋转靶材。本制备方法能够减少杂质元素的引入，所生产靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小。通过对所得钼铌合金旋转靶进行检测，其密度大于9.97g/cm3，晶粒度小于50微米，C‑SCAN扫描显示组织均匀，未发现有内部缺陷，达到了高端溅射靶材的要求。
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公开(公告)号：CN110158042A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910379954.0
申请日：2019-05-08
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Abstract: 本发明公开了一种钼铌合金旋转靶及其制备方法，其通过将钼粉和铌粉装入模具并在冷等静压作用下成为大尺寸的空心钼铌管压坯，随后装入包套中真空焊接密封，热等静压烧结成管坯，在后期机加工后最终制成钼铌旋转靶材。本制备方法能够减少杂质元素的引入，所生产靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小。通过对所得钼铌合金旋转靶进行检测，其密度大于9.97g/cm3，晶粒度小于50微米，C-SCAN扫描显示组织均匀，未发现有内部缺陷，达到了高端溅射靶材的要求。
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