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公开(公告)号：CN117702114A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311469243.5
申请日：2023-11-06
Applicant: 广东欧莱高新材料股份有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
IPC: C23C28/02 , C23C14/35 , C23C14/20 , C25D3/38 , C22C27/04 , H01M4/66 , H01M10/052 , H01M10/0525
Abstract: 本发明属于电池材料技术领域，特别涉及一种复合铜箔及其制备方法和应用。一种复合铜箔，包括基膜，依次设置在基膜上表面的金属修饰层、第一铜层、第二铜层；依次设置在基膜下表面的金属修饰层、第一铜层、第二铜层；金属修饰层为非晶薄膜层。本发明采用非晶薄膜作为金属修饰层，其和第一铜层、第二铜层结合，可降低复合铜箔的方块电阻，具有良好的电学性能；并且基膜和第一铜层，第一铜层和非晶薄膜层之间均具有良好的界面结合能，可延长复合铜箔的使用寿命；此外，因不含NiCr多晶合金层，可减少镍对电镀液的污染，提高第二铜层的生长质量，进而提高复合铜箔的电学性能。
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公开(公告)号：CN110158042B
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN201910379954.0
申请日：2019-05-08
Applicant: 广东欧莱高新材料股份有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Abstract: 本发明公开了一种钼铌合金旋转靶及其制备方法，其通过将钼粉和铌粉装入模具并在冷等静压作用下成为大尺寸的空心钼铌管压坯，随后装入包套中真空焊接密封，热等静压烧结成管坯，在后期机加工后最终制成钼铌旋转靶材。本制备方法能够减少杂质元素的引入，所生产靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小。通过对所得钼铌合金旋转靶进行检测，其密度大于9.97g/cm3，晶粒度小于50微米，C‑SCAN扫描显示组织均匀，未发现有内部缺陷，达到了高端溅射靶材的要求。
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公开(公告)号：CN109940066B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201910203684.8
申请日：2019-03-18
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 , 韶关市欧莱高新材料有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高纯铜旋转靶焊接端头的半自动校直方法，将铜合金尾盖固定在旋转装夹装置后，启动旋转装夹装置使高纯铜旋转靶转动，通过校直测量装置测量铜合金端头的直线度，从而确定内，外校直点和校直值，使用加热装置将铜合金端头进行加热，铜合金端头加热至规定温度，将半自动校直装置放置于外校直点处，半自动校直装置抵顶外校直点，校直测量装置放置于内校直点，人工操作半自动校直装置，直至校直测量装置内的指针活动值达到校直值，停止加热装置加热，高纯铜旋转靶冷却至室温，对高纯铜旋转靶的校直进行检查，直至校直值≤0.3mm。本发明的校直方法，高纯靶材管不变形，校直效果好不反弹，校直精度高，成品率高。
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公开(公告)号：CN110483033A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910773128.4
申请日：2019-08-21
Applicant: 韶关市欧莱高新材料有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
IPC: C04B35/457 , C04B35/622 , C04B35/626 , C23C14/35
Abstract: 本发明涉及一种低密度ITO靶材的制备方法，包括以下步骤：S1、回收ITO废靶，并对所述ITO废靶进行预处理，获得ITO废靶粉末；S2、制备氢氧化铟浆料，根据配比，将一定量的所述氢氧化铟浆料与所述ITO废靶粉末混合、烘干后获得新配比的ITO粉末；S3、将所述ITO粉末压制成型获得坯体，将所述坯体烧结后获得所述低密度靶材。相对于现有技术，本发明的低密度ITO靶材通过添加氢氧化铟浆料改变ITO废靶中的铟、锡配比，利用了氢氧化铟浆料的类似胶体的性质，其能够充分与原ITO粉末混合，并充当粘接剂的角色，氢氧化铟脱水形成氧化铟的过程中不会使坯体收缩，保证成型后坯体的体积密度的稳定，克服了使用氧化铟作为改变配比的添加剂时引成型起坯体收缩的技术缺陷。
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公开(公告)号：CN110453187A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201910774085.1
申请日：2019-08-21
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Inventor： 陈明恒
Abstract: 本发明为一种ITO靶管与钛背管绑定预处理的方法，包括钛背管和ITO靶管的分别处理，对ITO靶管的预处理包括外层涂覆高温胶、包覆加热布包实现内部金属化，高温胶保护ITO靶管表面避免损伤，使用加热布包使ITO靶管各处受热均匀，保温效果好，整体操作简单，预处理效果好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110158042A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910379954.0
申请日：2019-05-08
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Abstract: 本发明公开了一种钼铌合金旋转靶及其制备方法，其通过将钼粉和铌粉装入模具并在冷等静压作用下成为大尺寸的空心钼铌管压坯，随后装入包套中真空焊接密封，热等静压烧结成管坯，在后期机加工后最终制成钼铌旋转靶材。本制备方法能够减少杂质元素的引入，所生产靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小。通过对所得钼铌合金旋转靶进行检测，其密度大于9.97g/cm3，晶粒度小于50微米，C-SCAN扫描显示组织均匀，未发现有内部缺陷，达到了高端溅射靶材的要求。
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公开(公告)号：CN109954766A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201910204328.8
申请日：2019-03-18
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Inventor： 伍温良
Abstract: 本发明公开了一种高纯铝旋转靶焊接端头的半自动校直方法，将铝合金尾盖固定在旋转装夹装置后，启动旋转装夹装置使高纯铝旋转靶转动，通过校直测量装置测量铝合金端头的直线度，从而确定内，外校直点和校直值，使用加热装置将铝合金端头进行加热，铝合金端头加热至规定温度，将半自动校直装置放置于外校直点处，半自动校直装置抵顶外校直点，校直测量装置放置于内校直点，人工操作半自动校直装置，直至校直测量装置内的指针活动值达到校直值，停止加热装置加热，高纯铝旋转靶冷却至室温，对高纯铝旋转靶的校直进行检查，直至校直值≤0.3mm。本发明的校直方法，高纯靶材管不变形，校直效果好不反弹，校直精度高，成品率高。
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公开(公告)号：CN109898061A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910267867.6
申请日：2019-04-03
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Inventor： 张益
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明涉及靶材绑定装置和绑定方法领域，特别是涉及一种TFT旋转钼靶绑定装置，包括绑定装置，绑定装置包括圆柱中空管，圆柱中空管为工字型圆柱中空管，圆柱中空管外表面开设有若干个真空连接孔，真空连接孔贯穿设置于圆柱中空管上，圆柱中空管顶部的圆周部安装有上封板，圆柱中空管底部的圆周部安装有下封板，圆柱中空管上部内圈设置有第一密封圈，圆柱中空管下部内圈设置有第二密封圈，有效提高绑定过程的气密性，保证绑定后的靶材与背管之间的致密性，降低气孔率，保证后续使用，本发明提供一种结构简单、实用性强的TFT旋转钼靶绑定装置及气孔率低、致密性好的绑定方法。
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公开(公告)号：CN118515477A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410636250.8
申请日：2024-05-22
Applicant: 广东欧莱高新材料股份有限公司 , 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
IPC: C04B35/457 , C04B35/622 , C23C14/34
Abstract: 本发明公开了一种高密度氧化锡基陶瓷靶材及其制备方法，制备得到的高密度氧化锡基陶瓷靶材由胶体五氧化二锑干粉失去氧原子后转变得到的三氧化二锑、氧化锡和微量掺杂元素组成，氧化锡、三氧化二锑和掺杂剂的重量比为100：1‑5：0.5‑2，高密度氧化锡基陶瓷靶材的相对密度大于99.5％、靶材电阻率＜10×10‑3Ω·cm，本发明相对于氧化铟基靶材，其资源丰富、价格低廉、无毒无污染。
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公开(公告)号：CN110979864B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN201911418448.4
申请日：2019-12-31
Applicant: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
Inventor： 郭文明
Abstract: 本发明公开了一种平面靶整组包装装置及整组包装方法，将多个平面靶固定在整组保护工装形成一包装整体，对平面靶的固定效果好，包装方式简单，提高包装效率，便于安装于溅射设备。
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