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公开(公告)号:CN104160790A
公开(公告)日:2014-11-19
申请号:CN201280050231.2
申请日:2012-08-10
Applicant: 韩国机械研究院
IPC: H05H1/34 , C23C16/50 , H01L21/205
CPC classification number: H01J37/32541 , C23C16/503 , C23C16/509 , H01J9/022 , H01J37/32559 , H01J37/32568 , H01J37/32825 , H01J2237/327 , H05H1/2406 , H05H2001/2431 , H05H2001/485 , H05H2001/486
Abstract: 根据本发明实施例的等离子体发生器设置为通过防止等离子体到电弧的转变以近大气压的压力产生高密度和稳定的等离子体。该等离子体发生器包括用于设置基板的板状下电极;以及在板状下电极上的圆柱旋转电极,其中圆柱旋转电极包括导电主体和绝缘屏蔽层,导电主体连接到电源且包括在导电主体的外圆周表面上的多个毛细管单元;绝缘屏蔽层由绝缘材料或电介质材料制成,暴露多个毛细管单元的下表面,并且屏蔽其它部分。
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公开(公告)号:CN105556290A
公开(公告)日:2016-05-04
申请号:CN201480051274.1
申请日:2014-09-16
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y15/00 , C09D7/61 , C23C16/44 , G01N2201/06113 , G01N2201/068 , Y10S977/954
Abstract: 本发明涉及一种表面增强拉曼光谱的基底,通过制备使得其上金属纳米粒子相间隔数纳米的基底以使得该基底即使在长期存储的情况下,也能够使得表面增强拉曼信号明显增强,还涉及了一种使用简单的设备大规模地、低生产成本地制备该表面增强拉曼光谱的基底的方法。其上具有相间数纳米的所述表面增强拉曼光谱的基底可以使用简单的设备大规模地、低生产成本地制得。此外,由于该金属纳米粒子之间的距离可以在再现地形成为数纳米,从而拉曼信号可以显著地提高,并且即便在长期储存下,该提高的拉曼信号也可以保持在高水平。
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公开(公告)号:CN110407152A
公开(公告)日:2019-11-05
申请号:CN201811308557.6
申请日:2018-11-05
Applicant: 韩国机械研究院
Abstract: 本发明涉及一种基板以及制造该基板的方法,该基板通过使用具有低表面能的滑动介电膜激活金属吸附原子的表面迁移形成。更具体地,一种具有滑动介电膜的基板包括基板;在所述基板上形成的具有低表面能的滑动介电膜;以及在所述滑动介电膜上形成的纳米颗粒,其中纳米颗粒的表面能比滑动介电膜的表面能至少大1000mJ/m2。通过使高密度和间隔开的纳米颗粒之间以及下基板和上纳米颗粒之间的等离子体耦合最大化,所述基板具有非常高的SERS增强因子,在整个可见区域具有低光损失特性。
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公开(公告)号:CN105556290B
公开(公告)日:2019-05-07
申请号:CN201480051274.1
申请日:2014-09-16
Abstract: 本发明涉及一种表面增强拉曼光谱的基底,通过制备使得其上金属纳米粒子相间隔数纳米的基底以使得该基底即使在长期存储的情况下,也能够使得表面增强拉曼信号明显增强,还涉及了一种使用简单的设备大规模地、低生产成本地制备该表面增强拉曼光谱的基底的方法。其上具有相间数纳米的所述表面增强拉曼光谱的基底可以使用简单的设备大规模地、低生产成本地制得。此外,由于该金属纳米粒子之间的距离可以在再现地形成为数纳米,从而拉曼信号可以显著地提高,并且即便在长期储存下,该提高的拉曼信号也可以保持在高水平。
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