具有远程等离子体装置的真空泵系统

    公开(公告)号:CN110863989B

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN201910716516.9

    申请日:2019-08-05

    Abstract: 根据本发明的一个实施例的真空泵系统,其包含:前端泵浦和后端泵浦,其连接于真空管;以及远程等离子体装置,其设置于真空管的外侧。远程等离子体装置包含:管状接地电极,其围绕形成于真空管的第一开口,并且固定在真空管的外壁上;绝缘体,其结合在接地电极的端部上;以及高压电极,其位于绝缘体的外表面。接地电极包含:第一管状部,其与真空管交叉;以及环状限制部,其与第一管状部的绝缘体侧端部保持距离位于第一管状部的内侧,并且形成有直径小于真空管内径的第二开口。

    等离子体清洗装置和具有该装置的半导体加工器械

    公开(公告)号:CN113042461A

    公开(公告)日:2021-06-29

    申请号:CN202011556941.5

    申请日:2020-12-25

    Abstract: 本发明涉及一种等离子体清洗装置和具有该装置的半导体加工器械。一种等离子体清洗装置,包括金属室、闸门组件、电介质和高压电极。金属室连接到真空管,并且设置有第一开口,真空管连接加工室和真空泵。闸门组件包括闸门支撑件和闸门,该闸门支撑件围绕第一开口被固定到金属室并具有第二开口,该闸门联接到闸门支撑件并具有关闭第二开口的第一位置和打开第二开口的第二位置,第一位置和第二位置可彼此切换。电介质围绕第二开口联接到闸门支撑件的外部,且高压电极位于电介质的外表面上。

    微器件转移方法和转移装置、以及使用该方法和装置的电子产品

    公开(公告)号:CN111989767A

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN201980026414.2

    申请日:2019-04-16

    Abstract: 本发明的实施例提供了一种微器件转移方法,该方法适用于更多不同的微器件并且能够提高转移效率。微器件转移方法包括以下步骤:以第一速率在第一方向上传送目标基板;定位附接到转移膜的微器件以便面向目标基板的顶部部分,并在第一方向上输送转移膜;在转移膜与被转移到目标基板上的微器件分离之后,使转移膜能够向上弯曲并形成弯曲弧,并使在弯曲弧形成之后被传送的上侧转移膜能够通过在目标基板之上旋转的按压辊而被按压,并使得压力能够被传输到具有附接的微器件且正被输送的下侧转移膜;以及以第二速率在与第一方向相反的第二方向上传送在形成弯曲弧之后被传送的上侧转移膜,并恢复其,其中弯曲弧的第一中心相对于第一方向还在按压辊的第二中心的前面。

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