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公开(公告)号：CN119307864A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411459298.2
申请日：2024-10-18
Applicant: 青岛科技大学 , 青岛天惠辰科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于电磁支架的连续式多腔室激光脉冲沉积装置，适用于真空薄膜沉积领域，特别是激光脉冲沉积(PLD)工艺中的衬底转移和密封系统。该装置由五个腔室依次连接组成，包括常压放料室、预真空室、沉积室、增压室和取料室，各腔室之间通过法兰盘和双偏心蝴蝶阀进行密封，采用耐真空的氟橡胶或聚四氟乙烯密封圈确保腔室之间的高效隔离。物料的转移由电磁支架系统实现，该系统通过电磁铁控制带有磁性的吸附式托盘，在无接触的情况下实现物料的高精度转移，极大地提高了薄膜制备的连续性和生产效率。电磁支架的伸缩由气动装置控制，系统可在超高真空环境下精确运行，避免了传统机械磨损和真空泄漏的问题。本发明具有模块化设计，具备衬底快速转移、减少维护成本、提高生产效率和设备寿命的显著优势。
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公开(公告)号：CN114807901B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202210442912.9
申请日：2022-04-25
Applicant: 青岛科技大学
IPC: C23C16/44 , C23C16/458 , C23C16/46 , C23C16/50
Abstract: 本发明属于管式PECVD设备。为解决上述的PECVD恒温时间过长、转化效率低的问题，本发明提供一种节能高效的PECVD反应炉管装置，包括外侧炉体、加热炉体、纤维保温圈、电磁感应加热装置、石墨舟、推杆、支撑杆及法兰盘，所述法兰盘设置在外侧炉体的上下两端，法兰盘与外侧炉体之间设置纤维保温圈，所述支撑杆设置在加热炉体内，石墨舟设置在支撑杆上，所述电磁感应加热装置的电磁感应线圈环绕石墨舟设置；所述推杆包括上推杆和下推杆，下推杆上设置放置槽，上推杆伸出炉管的两端，下推杆位于炉管内。本发明通过电磁感应加热，升温速度快，通过电磁感应的磁场分布增强化学气相沉积，提高转化效率。
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公开(公告)号：CN112536521B
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202011217876.3
申请日：2020-11-04
Applicant: 青岛科技大学
IPC: B23K10/00
Abstract: 本发明设计了一种新型多极旋转尖角磁场再压缩等离子弧装置，所述装置包含一个励磁电源，一个控制电路和8个电磁线圈，按图示进行连接安装。8个电磁线圈平分成两个线圈组，由控制电路并联连接，各个线圈以环形等夹角形式交替布置；励磁电源对两组线圈进行周期式电流输入，一个周期分为4个环节，每个环节通过波形变位器对指定线圈组输入电流，以此实现磁极的高速转变，进而完成多极旋转尖角磁场的建立。因此，本发明装置能够通过建立多极旋转尖角磁场实现对等离子弧的全径向再压缩。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114086127A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111433226.7
申请日：2021-11-29
Applicant: 青岛科技大学
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明设计了一种磁场辅助阴极电弧离子镀蒸发源装置，包括包括极靴、永磁体、阴极靶、阳极、绝缘冷却底座、水冷入口管道、水冷出口管道、引弧针、引弧杆、电机马达、旋转轴、保护罩、屏蔽罩。主要通过极靴和永磁体的纵向旋转、整个装置的横向旋转以及阴极靶绝缘冷却底座的冷却降温作用来使得电弧在靶面均匀分布，加速弧斑移动速度，减少液滴或大颗粒的形成，细化弧斑，细化膜层组织，最终提高膜层质量。
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公开(公告)号：CN113022155A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110224677.3
申请日：2021-03-01
Applicant: 青岛科技大学
Abstract: 本发明公布了一种人机交互式碳纳米管导电油墨柔性电路打印机的设计方案，包括传动与定位系统、电路打印与封装系统和光固化系统。传动与定位系统采用环型设计，既实现了人机交互功能，也使得多个工序有序且高效进行。电路打印与封装系统采用能够光固化的碳纳米管导电油墨和针孔喷嘴气动输送设计，使设备更具经济性。光固化系统采用左右分布的紫外线光固化灯，进一步提高柔性电路打印机的打印效率。
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公开(公告)号：CN112536521A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202011217876.3
申请日：2020-11-04
Applicant: 青岛科技大学
IPC: B23K10/00
Abstract: 本发明设计了一种新型多极旋转尖角磁场再压缩等离子弧装置，所述装置包含一个励磁电源，一个控制电路和8个电磁线圈，按图示进行连接安装。8个电磁线圈平分成两个线圈组，由控制电路并联连接，各个线圈以环形等夹角形式交替布置；励磁电源对两组线圈进行周期式电流输入，一个周期分为4个环节，每个环节通过波形变位器对指定线圈组输入电流，以此实现磁极的高速转变，进而完成多极旋转尖角磁场的建立。因此，本发明装置能够通过建立多极旋转尖角磁场实现对等离子弧的全径向再压缩。
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公开(公告)号：CN112476702A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011161594.6
申请日：2020-10-27
Applicant: 青岛科技大学
Abstract: 本发明公开了一种陶泥复合材料打印机双喷头装置，采用陶泥堆积喷头与纤维增强材料喷头配合的打印方式共同作用，打印成型。相对于采用单一陶泥堆积喷头进行工作，此方法可获得较高强度的产品，并增强了产品的塑韧性。有效地解决了普通陶泥3D打印机所生产的产品强度，塑韧性不足的缺点，对材料强度，韧性要求较高的产品提供了一种可行的办法。
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