公开(公告)号：CN106521597B

公开(公告)日：2018-06-05

申请号：CN201610982564.9

申请日：2016-11-09

Applicant: 青岛科技大学

Inventor： 谢广文 ,  刘腾宇 ,  王桂雪 ,  颜双 ,  孙丹丹 ,  张月

IPC: C25D9/06 ,  C25D11/26

Abstract: 本发明提供了一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法，包括下列顺序步骤：(1)将金属钛片在室温下进行酸洗；(2)将酸洗后钛片用去离子水清洗干净，以金相砂纸打磨至表面呈金属光泽，分别用去离子水、无水乙醇、丙酮超声清洗，经去离子水清洗后干燥备用；(3)将上述钛片浸入到含NH4F、去离子水的乙二醇溶液中，以钛片为阳极，铂电极为阴极，室温下施加直流电进行阳极氧化；(4)以阳极氧化后钛片为阳极，铂电极为阴极，Sr(NO3)2溶液为电解液，室温下施加直流电进行反应；(5)电化学反应完成后，将样品取出，用去离子水清洗干净，再经热处理后，得到钛酸锶SrTiO3薄膜。该方法简单，钛酸锶薄膜的厚度，结构易于控制，且可以实现大面积钛酸锶薄膜的批量制备。

公开(公告)号：CN106521597A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201610982564.9

申请日：2016-11-09

Applicant: 青岛科技大学

Inventor： 谢广文 ,  刘腾宇 ,  王桂雪 ,  颜双 ,  孙丹丹 ,  张月

IPC: C25D9/06 ,  C25D11/26

CPC classification number: C25D9/06 ,  C25D11/26

Abstract: 本发明提供了一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法，包括下列顺序步骤：(1)将金属钛片在室温下进行酸洗；(2)将酸洗后钛片用去离子水清洗干净，以金相砂纸打磨至表面呈金属光泽，分别用去离子水、无水乙醇、丙酮超声清洗，经去离子水清洗后干燥备用；(3)将上述钛片浸入到含NH4F、去离子水的乙二醇溶液中，以钛片为阳极，铂电极为阴极，室温下施加直流电进行阳极氧化；(4)以阳极氧化后钛片为阳极，铂电极为阴极，Sr(NO3)2溶液为电解液，室温下施加直流电进行反应；(5)电化学反应完成后，将样品取出，用去离子水清洗干净，再经热处理后，得到钛酸锶SrTiO3薄膜。该方法简单，钛酸锶薄膜的厚度，结构易于控制，且可以实现大面积钛酸锶薄膜的批量制备。