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公开(公告)号：CN108083341A
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201810092068.5
申请日：2018-01-30
Applicant: 陕西科技大学
Abstract: 一种带有氧空位的单斜相WO3的制备方法，将Na2WO4·2H2O溶液的pH值调节为0.2～4.0，搅拌后转移到带有聚四氟乙烯内衬的水热釜中，采用微波水热法制备WO3，选择控温模式或者压控模式进行反应0.5～2h，干燥，得到带有氧空位的单斜相WO3；其中，温控模式的温度为140～200℃，压控模式的气压为0.5MPa～3MPa。本发明制备的带有氧空位的单斜相WO3，将其应用丙酮气体敏感材料，可以有效提高丙酮气体在WO3表面的化学吸附，表现出高的响应以及低检测限。
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公开(公告)号：CN109607518A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811504258.X
申请日：2018-12-10
Applicant: 陕西科技大学
IPC: C01B32/184 , C01B32/198 , C01G51/00 , G01N27/00
Abstract: 一种对乙醇气体高选择性的敏感薄膜的制备方法，将Co(NO3)2·6H2O溶解于C2H5OH中，然后加入Ti(OC4H9)4，搅拌均匀后调节pH值为1.0～5.0，得到混合溶液A；合溶液A与氧化石墨烯的乙醇悬浮液B以(1～5):1体积比混合，得到混合溶液C；将混合溶液C和硅基片置于高压反应釜中，然后放入均相水热反应仪中，在100～200℃下反应5～15h，得到复合薄膜D；干燥后煅烧得到对乙醇气体高选择性的敏感薄膜。本发明有成膜性好，操作方便，生产周期短，效率高，可控性强等优点，所制备的薄膜对乙醇气体具有优异的灵敏度和选择性，具有工业化潜力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107313017B
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201710482083.6
申请日：2017-06-22
Applicant: 陕西科技大学
Abstract: 本发明涉及一种核壳结构n‑二氧化钛@p‑钛酸钴纳米晶薄膜及其制备方法，先将干净的基片安装在磁控溅射仪的样品台，将CoTiO3靶和TiO2靶分别安装在磁控溅射仪的两个射频靶位上；对磁控溅射仪的溅射镀膜室抽真空再通入惰性气体，并使溅射镀膜室的气体压强保持在0.1Pa～2Pa；CoTiO3靶预溅射5～15min；将基片升温至300℃～600℃并保温，CoTiO3靶开始溅射30min～90min，得到CoTiO3有序纳米晶薄膜；调节CoTiO3有序纳米晶薄膜和TiO2靶材相互平行，TiO2靶材溅射10s～120s，得到核壳结构n‑二氧化钛@p‑钛酸钴纳米晶薄膜。本发明可有效地调控薄膜的形貌，成膜性好，操作方便，生产周期短，效率高，适于工业生产。
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公开(公告)号：CN108315691B
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201810092075.5
申请日：2018-01-30
Applicant: 陕西科技大学
Abstract: 一种光激发二氧化钛/四氧化三钴湿敏薄膜的制备方法，将Co3O4薄膜放入磁控溅射仪的样品台，TiO2靶材放入射频靶位，向镀膜室通入Ar气，设置TiO2射频靶位的电源功率为100W～400W，溅射时间为5min～60min，溅射同时对样品台加热，加热温度为500℃～700℃，溅射完成后，得到二氧化钛/四氧化三钴复合薄膜。本发明制备出的薄膜在可见光激发条件下对环境湿度非常灵敏，并且工艺可控性强、薄膜的组成、结构、性能易于调控，光激发下湿敏性突出。
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公开(公告)号：CN108083341B
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201810092068.5
申请日：2018-01-30
Applicant: 陕西科技大学
Abstract: 一种带有氧空位的单斜相WO3的制备方法，将Na2WO4·2H2O溶液的pH值调节为0.2～4.0，搅拌后转移到带有聚四氟乙烯内衬的水热釜中，采用微波水热法制备WO3，选择控温模式或者压控模式进行反应0.5～2h，干燥，得到带有氧空位的单斜相WO3；其中，温控模式的温度为140～200℃，压控模式的气压为0.5MPa～3MPa。本发明制备的带有氧空位的单斜相WO3，将其应用丙酮气体敏感材料，可以有效提高丙酮气体在WO3表面的化学吸附，表现出高的响应以及低检测限。
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公开(公告)号：CN108315691A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810092075.5
申请日：2018-01-30
Applicant: 陕西科技大学
Abstract: 一种光激发二氧化钛/四氧化三钴湿敏薄膜的制备方法，将Co3O4薄膜放入磁控溅射仪的样品台，TiO2靶材放入射频靶位，向镀膜室通入Ar气，设置TiO2射频靶位的电源功率为100W～400W，溅射时间为5min～60min，溅射同时对样品台加热，加热温度为500℃～700℃，溅射完成后，得到二氧化钛/四氧化三钴复合薄膜。本发明制备出的薄膜在可见光激发条件下对环境湿度非常灵敏，并且工艺可控性强、薄膜的组成、结构、性能易于调控，光激发下湿敏性突出。
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公开(公告)号：CN107313017A
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201710482083.6
申请日：2017-06-22
Applicant: 陕西科技大学
CPC classification number: C23C14/352 , C23C14/08
Abstract: 本发明涉及一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜及其制备方法，先将干净的基片安装在磁控溅射仪的样品台，将CoTiO3靶和TiO2靶分别安装在磁控溅射仪的两个射频靶位上；对磁控溅射仪的溅射镀膜室抽真空再通入惰性气体，并使溅射镀膜室的气体压强保持在0.1Pa～2Pa；CoTiO3靶预溅射5～15min；将基片升温至300℃～600℃并保温，CoTiO3靶开始溅射30min～90min，得到CoTiO3有序纳米晶薄膜；调节CoTiO3有序纳米晶薄膜和TiO2靶材相互平行，TiO2靶材溅射10s～120s，得到核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜。本发明可有效地调控薄膜的形貌，成膜性好，操作方便，生产周期短，效率高，适于工业生产。
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