公开(公告)号：CN108315691A

公开(公告)日：2018-07-24

申请号：CN201810092075.5

申请日：2018-01-30

Applicant: 陕西科技大学

Inventor： 卢靖 ,  梁阔燚 ,  史欢 ,  柴绒 ,  张钰蓉 ,  黄剑锋

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C18/12 ,  C23C28/04

Abstract: 一种光激发二氧化钛/四氧化三钴湿敏薄膜的制备方法，将Co3O4薄膜放入磁控溅射仪的样品台，TiO2靶材放入射频靶位，向镀膜室通入Ar气，设置TiO2射频靶位的电源功率为100W～400W，溅射时间为5min～60min，溅射同时对样品台加热，加热温度为500℃～700℃，溅射完成后，得到二氧化钛/四氧化三钴复合薄膜。本发明制备出的薄膜在可见光激发条件下对环境湿度非常灵敏，并且工艺可控性强、薄膜的组成、结构、性能易于调控，光激发下湿敏性突出。

公开(公告)号：CN108315691B

公开(公告)日：2019-11-08

申请号：CN201810092075.5

申请日：2018-01-30

Applicant: 陕西科技大学

Inventor： 卢靖 ,  梁阔燚 ,  史欢 ,  柴绒 ,  张钰蓉 ,  黄剑锋

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C18/12 ,  C23C28/04

Abstract: 一种光激发二氧化钛/四氧化三钴湿敏薄膜的制备方法，将Co3O4薄膜放入磁控溅射仪的样品台，TiO2靶材放入射频靶位，向镀膜室通入Ar气，设置TiO2射频靶位的电源功率为100W～400W，溅射时间为5min～60min，溅射同时对样品台加热，加热温度为500℃～700℃，溅射完成后，得到二氧化钛/四氧化三钴复合薄膜。本发明制备出的薄膜在可见光激发条件下对环境湿度非常灵敏，并且工艺可控性强、薄膜的组成、结构、性能易于调控，光激发下湿敏性突出。