公开(公告)号：CN105742371B

公开(公告)日：2021-05-25

申请号：CN201510982231.1

申请日：2015-12-24

Applicant: 长野计器株式会社

Inventor： 羽田幸彦 ,  宫下香织 ,  武田英嗣

IPC: H01L29/84 ,  G01L9/00

Abstract: 本发明涉及传感器模块以及传感器模块的制造方法。形成在隔板部的平面部的检测部具有多个应变仪、分别连接在应变仪之中相邻的应变仪之间的电阻元件连接部、以及覆盖电阻元件连接部的一部分的到导电体部，电阻元件连接部之中的从导电体部露出的第一直线部分和第二直线部分与导电体部的横穿第一直线部分和第二直线部分的边正交。即使在电阻元件连接部和导电体部产生沿着X方向或Y方向的图案偏离，电阻元件连接部之中的从导电体部露出的部分的面积也不会发生变化。

公开(公告)号：CN105742371A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201510982231.1

申请日：2015-12-24

Applicant: 长野计器株式会社

Inventor： 羽田幸彦 ,  宫下香织 ,  武田英嗣

IPC: H01L29/84 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0051 ,  H01L29/84 ,  G01L9/00

Abstract: 本发明涉及传感器模块以及传感器模块的制造方法。形成在隔板部的平面部的检测部具有多个应变仪、分别连接在应变仪之中相邻的应变仪之间的电阻元件连接部、以及覆盖电阻元件连接部的一部分的到导电体部，电阻元件连接部之中的从导电体部露出的第一直线部分和第二直线部分与导电体部的横穿第一直线部分和第二直线部分的边正交。即使在电阻元件连接部和导电体部产生沿着X方向或Y方向的图案偏离，电阻元件连接部之中的从导电体部露出的部分的面积也不会发生变化。