公开(公告)号：CN104221134A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201380019198.1

申请日：2013-03-27

Applicant: 长濑化成株式会社 ,  夏普株式会社

Inventor： 大井阳介 ,  广庭大辅 ,  桥本敬宏 ,  圆山洋介

IPC: H01L21/38 ,  H01L21/225 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L31/02168 ,  H01L21/2225 ,  H01L21/2254 ,  H01L21/2255 ,  H01L31/068 ,  H01L31/0682 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供一种涂布扩散剂组合物，其能够抑制析出物的产生，与现有的不含水的PTG液相比，化学药品寿命较长，即使大量地生产PTG液，也能够长期稳定地保存，成本低。本发明的涂布扩散剂组合物含有钛酸酯、磷化合物、水及有机溶剂。

公开(公告)号：CN102687284A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201080059615.1

申请日：2010-12-21

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 桥本敬宏

IPC: H01L31/042 ,  H01L31/0216 ,  C01G23/053

CPC classification number: H01L31/02168 ,  Y02E10/50

Abstract: 一种太阳能电池单元的制造方法，包括在半导体基板（1）的一个主面上涂布含有金属氧化物和金属氧化物前体中的至少一者的防反射膜形成用溶液（5a）的工序、和对涂布有防反射膜形成用溶液（5a）的半导体基板（1）进行加热的工序，在涂布防反射膜形成用溶液（5a）的工序中，防反射膜形成用溶液（5a）在水含量为0g/m3～9.4g/m3的环境下涂布。