公开(公告)号：CN1875326A

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN200480032334.1

申请日：2004-10-28

Applicant: 长濑化成株式会社

Inventor： 西岛佳孝 ,  松本昌岳 ,  安江秀国 ,  武井瑞树

IPC: G03F7/42 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304

CPC classification number: C11D7/3263 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/425 ,  H01L21/31133

Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂剥离用组合物，该组合物包含具有羟基的有机伯胺或有机仲胺与碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯、γ－丁内酯、1，3－二羟基－2－丙酮、或一元或二元羧酸的反应产物，该组合物根据需要还可包含有机胺、水溶性有机溶剂和/或水。该组合物能够高性能地剥离光致抗蚀剂并可防止金属配线材料的腐蚀。通过使用该组合物，在剥离之后以水冲洗的过程中不会产生诸如不溶物析出并粘附至基板等问题。