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公开(公告)号：CN1304873C
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200510020184.9
申请日：2005-01-13
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及一种悬臂梁式闪耀光栅光调制器及阵列，它具有一个基底和一个电驱动装置，基底上依次形成有下电极层和绝缘层，在绝缘层上方悬浮有多个具有反射表面的带状物，绝缘层和带状物之间留有间隙，这些带状物由各自的一个端部支撑在绝缘层上，同时带状物上的一层金属铝膜形成上电极，也作为光反射层，整个形成悬臂梁式结构，带状物按行列位置并列布置，形成面阵，所有的带状物在自由状态时基本共面。通过施加偏压，所有的反射平面都可以保持在第一平面内。当所有的部件位于第一平面内时，衍射光栅反射入射光束。当所述预定的带状物位于设定的倾斜角度时，衍射光栅衍射入射光束，此时，该闪耀光栅将光能量闪耀到预定的衍射级次上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1658008A
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN200510020184.9
申请日：2005-01-13
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及一种悬臂梁式闪耀光栅光调制器及阵列，它具有一个基底和一个电驱动装置，基底上依次形成有下电极层和绝缘层，在绝缘层上方悬浮有多个具有反射表面的带状物，绝缘层和带状物之间留有间隙，这些带状物由各自的一个端部支撑在绝缘层上，同时带状物上的一层金属铝膜形成上电极，也作为光反射层，整个形成悬臂梁式结构，带状物按行列位置并列布置，形成面阵，所有的带状物在自由状态时基本共面。通过施加偏压，所有的反射平面都可以保持在第一平面内。当所有的部件位于第一平面内时，衍射光栅反射入射光束。当所述预定的带状物位于设定的倾斜角度时，衍射光栅衍射入射光束，此时，该闪耀光栅将光能量闪耀到预定的衍射级次上。
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公开(公告)号：CN100349035C
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200510020185.3
申请日：2005-01-13
Applicant: 重庆大学
Abstract: 反射镜平动式光栅光调制器及阵列，光调制器包括：基底；基底之上形成的绝缘层和电极层；位于电极层之上由支撑梁支撑的可动平板，由施加到电极层上的偏压驱动做垂直向下移动；与基底固定的固定光栅，整体罩于多个由上述部件组成的结构单元形成阵列之上，固定光栅与电极层之间为可动平板移动的空间间隙。光栅光调制器在未加电压时，平板位于第一平面内，光强集中在衍射零级；通过电压驱动，平板垂直上下运动，位于第二平面，光强集中在衍射一级，由此实现对入射光束的不同调制，以提供不同的衍射光能量的分布。本调制器具有扩大器件的有效面积，实现光调制器的面阵结构，提高器件的光学衍射效率，简化器件的加工工艺等优点。
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公开(公告)号：CN1304874C
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200510020186.8
申请日：2005-01-13
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及一种光栅平动式光调制器及阵列，光调制器包括：一有绝缘层和负电极硅基底，一镀于负电极之上的底层反射面，一位于底层反射面之上，四边与悬臂梁连接而被支撑的顶层反射面，该顶层反射面被均匀蚀刻出镂空矩形槽，形成光栅，一将下拉电压加在顶层反射面与底层反射面之间的偏压施加装置。该器件是利用深度可变的矩形槽光栅对入射光的相位进行调制，具有出光效率高、调制速度快、对比度高、亮度高、均匀性好等优点，同时制造工艺简单，良品率高，有效利用面积大。
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公开(公告)号：CN1658009A
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN200510020186.8
申请日：2005-01-13
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及一种光栅平动式光调制器及阵列，光调制器包括：一有绝缘层和负电极硅基底，一镀于负电极之上的底层反射面，一位于底层反射面之上，四边与悬臂梁连接而被支撑的顶层反射面，该顶层反射面被均匀蚀刻出镂空矩形槽，形成光栅，一将下拉电压加在顶层反射面与底层反射面之间的偏压施加装置。该器件是利用深度可变的矩形槽光栅对入射光的相位进行调制，具有出光效率高、调制速度快、对比度高、亮度高、均匀性好等优点，同时制造工艺简单，良品率高，有效利用面积大。
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公开(公告)号：CN1645183A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN200510020185.3
申请日：2005-01-13
Applicant: 重庆大学
IPC: G02B26/00
Abstract: 反射镜平动式光栅光调制器及阵列，光调制器包括：基底；基底之上形成的绝缘层和电极层；位于电极层之上由支撑梁支撑的可动平板，由施加到电极层上的偏压驱动做垂直向下移动；与基底固定的固定光栅，整体罩于多个由上述部件组成的结构单元形成阵列之上，固定光栅与电极层之间为可动平板移动的空间间隙。光栅光调制器在未加电压时，平板位于第一平面内，光强集中在衍射零级；通过电压驱动，平板垂直上下运动，位于第二平面，光强集中在衍射一级，由此实现对入射光束的不同调制，以提供不同的衍射光能量的分布。本调制器具有扩大器件的有效面积，实现光调制器的面阵结构，提高器件的光学衍射效率，简化器件的加工工艺等优点。
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