公开(公告)号：CN120047528A

公开(公告)日：2025-05-27

申请号：CN202510093667.9

申请日：2025-01-21

Applicant: 郑州轻工业大学

Inventor： 梁万用 ,  贾玮霖 ,  石军 ,  曹卫锋 ,  江泳

IPC: G06T7/70 ,  G06T3/4076 ,  G06T3/4046 ,  G06N3/0464 ,  G06T7/00

Abstract: 本发明公开了一种基于图像超分辨率的晶圆亚像素对准方法，涉及划片机图像对准技术领域。本发明提供了一种基于图像超分辨率的晶圆亚像素对准方法，包括以下步骤：S100，操作划片机采集晶圆图像对；S200，在级联残差通道注意力组的基础上，引入增强型空间注意力捕获空间域内隐含的高频信息，结合层次特征融合结构对残差组提取出的晶圆特征进行充分保留，对晶圆图像对进行超分辨率重建；S300，使用步骤S200中重建的晶圆图像对进行基于相位相关和高斯函数的亚像素对准。本发明提供的一种基于图像超分辨率的晶圆亚像素对准方法，能够减少划片机因对准误差导致的切割瑕疵，提高产品的整体质量和良率。