阴极配置、电子枪以及包括此电子枪的光刻系统

    公开(公告)号:CN108666188A

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201810479190.8

    申请日:2014-12-22

    Abstract: 本发明涉及一种聚焦电极,包括:圆柱形壳状体,该圆柱形壳状体限定用于容纳阴极本体的腔穴,和前盖部,该前盖部设置有圆形的电子透射孔径和聚焦表面,其中,热陷捕表面被设置在所述圆柱形壳状体的内表面上,该热陷捕表面被配置成用于在使用中接收由阴极本体所释放的热辐射,其中所述前盖部还包括内电极表面,其被配置成支撑所述阴极本体,其中所述圆柱形壳状体包括有角度的间隙,该有角度的间隙形成在壳状体结构中的狭缝或削切部,用于容纳约束配置,该约束配置用于以支撑结构为基准来约束所述聚焦电极和/或所述阴极本体。

    阴极配置、电子枪以及包括此电子枪的光刻系统

    公开(公告)号:CN105874554B

    公开(公告)日:2018-05-08

    申请号:CN201480071826.5

    申请日:2014-12-22

    Abstract: 本发明涉及一种阴极配置(20),其包括:阴极本体,其容纳发射表面(32),用以在纵向方向(Z)中发射电子,其中,该发射表面由发射周围(35)界定;聚焦电极(40),其在横向方向中至少部分封闭该阴极本体,并且包括电子透射孔径(44),用以聚焦由该发射表面所发射的电子,其中,该孔径由孔径周围(45)界定,其中,该阴极本体以可移动的方式在与对齐位置(R0)相隔最大横向距离(d1)处被布置在该聚焦电极内部,并且其中,该孔径周围横向延伸越过该发射表面并且超越该发射周围在一重叠距离(d2),该重叠距离超过该最大横向距离。

    阴极配置、电子枪以及包括此电子枪的光刻系统

    公开(公告)号:CN105874554A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201480071826.5

    申请日:2014-12-22

    Abstract: 本发明涉及一种阴极配置(20),其包括:阴极本体,其容纳发射表面(32),用以在纵向方向(Z)中发射电子,其中,该发射表面由发射周围(35)界定;聚焦电极(40),其在横向方向中至少部分封闭该阴极本体,并且包括电子透射孔径(44),用以聚焦由该发射表面所发射的电子,其中,该孔径由孔径周围(45)界定,其中,该阴极本体以可移动的方式在与对齐位置(R0)相隔最大横向距离(d1)处被布置在该聚焦电极内部,并且其中,该孔径周围横向延伸越过该发射表面并且超越该发射周围在一重叠距离(d2),该重叠距离超过该最大横向距离。

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