电气元件
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101048655A

    公开(公告)日:2007-10-03

    申请号:CN200480044289.1

    申请日:2004-11-26

    CPC classification number: G01N27/4148

    Abstract: 一种电气元件(1)具有传感器和/或执行器芯片,该芯片具有基底(2),在基底上设置钝化层(3)和具有有效表面区域(5a,5b)的传感器和/或执行器结构。该芯片被具有孔(7)的封装(6)包围,该孔形成与所述至少一个有效表面区域(5a,5b)相通的通道。在基底(2)上设置叠层,该叠层从钝化层(3)到基底(2)具有至少一个第一印制导线层(15)、第一电绝缘层(14)、第二印制导线层(17)和第二电绝缘层(16)。第一印制导线层(15)完全位于芯片与孔(7)重叠的区域之外。第二印制导线层(15)的至少一个印制导线与传感器和/或执行器结构连接。

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