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公开(公告)号：CN110527969A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910942636.0
申请日：2019-09-30
Applicant: 辽宁科技大学
Abstract: 本发明涉及利用热丝增强等离子体磁控溅射法制备铁磁非晶膜的方法，包括以下步骤：1)镀膜前清洗：将基体置于等离子体增强磁控溅射设备的腔体内，抽真空；加热除水蒸汽；清洗靶；2)镀膜：热丝增强等离子体磁控溅射设备的腔体四周缠绕4根灯丝，腔体四壁分别设置矩形靶材，其中一块以上靶材为非晶铁磁薄带；腔体内通入氩气，氩气；打开挡板，开始溅射；镀膜时腔体内的温度为25℃～100℃。本发明将磁控溅射技术应用于制备铁磁非晶膜领域；通过调节加在灯丝上的偏压来提高氩气的离化率及氩离子的轰击速度，进一步提高了膜基结合强度和薄膜的致密性。磁控溅射离子轰击基体，活化基体表面，提高膜层与基体表面之间的结合力。
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公开(公告)号：CN110284099A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910460531.1
申请日：2019-05-30
Applicant: 辽宁科技大学
Abstract: 本发明涉及一种在TWIP汽车用冷轧钢板表面镀铝的方法，镀膜前清洗，将打磨抛光并清洗后的TWIP钢基体放置于热丝增强非平衡磁控溅射腔体内，抽真空；加热除气；TWIP钢基体直流偏压调节到-50～-100V，控制氩气流量，氦气流量，热丝增强非平衡磁控溅射腔体压强控制在0.5～2.0Pa；调节灯丝电流，靶电流，打开挡板，开始溅射，溅射时间视所需膜厚而定。优点是：解决了TWIP钢表面易腐蚀的问题，保证了TWIP钢的强度及塑韧性，并且具有较好的结合力，大幅提高了其耐腐蚀性。取得了热浸镀及蒸发镀没有达到的效果，采用热丝增强等离子体磁控溅射技术在TWIP高强钢板表面镀覆一层铝防腐蚀薄膜。
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公开(公告)号：CN111139426A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN202010105993.4
申请日：2020-02-20
Applicant: 辽宁科技大学
Abstract: 本发明涉及一种超高强冷轧钢板切割刀具涂镀层及方法，该渗氮涂镀层分为两层：一层为与基材相接的渗氮层、渗碳层、渗硅层中的一种以上，厚度为4～10μm；二层为沉积在一层的纳米金属氮化物陶瓷层、纳米金属碳化物陶瓷层或纳米金属硅化物陶瓷层中的两种以上混合物，厚度为0.1～10μm；所述的基材为高速钢。优点是：采用热丝辅助等离子体增强磁控溅射方法在高速钢为基材的冷轧钢板用剪切刀具表面制备渗氮和陶瓷涂层的强化层，为超高强钢冷轧钢板剪切问题提供解决方案。相较于传统的磁控溅射技术，等离子体增强效果明显，可以实现对基体表面的等离子体氮化，提高基体强、硬度。
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公开(公告)号：CN110484890B
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201910942622.9
申请日：2019-09-30
Applicant: 辽宁科技大学
Abstract: 本发明涉及一种提高喷号机喷针表面耐磨性的方法，在真空腔体四周1～4个靶座上安装镀膜所需的铬、钛、铝、硅靶材；清洗喷针：依次经碱洗、工业清洗剂超声波清洗、酒精清洗；镀膜前真空清洗：将喷针固定在真空腔体内自转架上，预抽真空，开分子泵，抽真空，加热，保温，通氩气及氮气；开1～4根灯丝，偏压清洗，清洗靶；镀膜：调节基体直流偏压，控制氩气流量，氮气流量，真空腔体压强控制在0.3～2.0Pa之间；开1～4个靶电源，开始溅射，直到镀膜结束。本发明采用真空磁控溅射镀的方法在喷针表面制备的氮化物薄膜，显著提高了喷针表面的耐磨性，而且薄膜具有较好的结合力，不易脱落。
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公开(公告)号：CN111864335A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010529760.7
申请日：2020-06-11
Applicant: 辽宁科技大学
Inventor： 徐振 , 陈雪娇 , 侯忠霖 , 王弘江 , 柏忠卫 , 陈全胜 , 刘思成 , 胡东禹 , 郭菁 , 庞启航 , 张俊凯 , 于德川 , 李雪 , 赵卓 , 王洪斌 , 乔军 , 李胜利
IPC: H01Q1/00
Abstract: 本发明涉及天线散热技术领域，具体为一种五管鳍片天线散热器，包括天线、散热鳍片、固定片和热管，热管为五根，热管包括吸热端、过渡段和放热端，吸热端的管间距为2mm，过渡段使得放热端的管间距为12mm，热管的吸热端与天线连接并由固定片固定，热管的放热端与散热鳍片连接，热管为内部注有工作液体的真空铜管。该发明结构简单且组装和安装十分简便，散热效果好且体积小，不占空间。本发明可以在外界气温高达45℃情况下，保证天线温度稳定在允许工作温度范围内，保证天线正常工作，因无需加载风扇，所以脱离了电的约束。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109023223B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201811018958.8
申请日：2018-09-03
Applicant: 辽宁科技大学
Abstract: 本发明的目的在于克服现有技术中发蓝工艺的缺陷，提供一种利用低温等离子体的金属表面发蓝方法，属于金属材料表面处理技术领域。该方法利用真空装备在一定气压下施加电场，使惰性气体和H2O分子发生辉光放电并离化，形成低温等离子体，产生具有活化作用的O2+离子。O2+离子受施加在钢材或钢件上的负电位吸引，轰击工件表面。活性O2+离子与钢工件表面铁化合，发生蓝化反应。制备的发蓝氧化膜致密、美观，成本低、操作简单，有利于工业化生产，无污染。本发明的制备方法实现了低温等离子体发蓝处理，应用范围广泛。
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公开(公告)号：CN110484890A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910942622.9
申请日：2019-09-30
Applicant: 辽宁科技大学
Abstract: 本发明涉及一种提高喷号机喷针表面耐磨性的方法，在真空腔体四周1～4个靶座上安装镀膜所需的铬、钛、铝、硅靶材；清洗喷针：依次经碱洗、工业清洗剂超声波清洗、酒精清洗；镀膜前真空清洗：将喷针固定在真空腔体内自转架上，预抽真空，开分子泵，抽真空，加热，保温，通氩气及氮气；开1～4根灯丝，偏压清洗，清洗靶；镀膜：调节基体直流偏压，控制氩气流量，氮气流量，真空腔体压强控制在0.3～2.0Pa之间；开1～4个靶电源，开始溅射，直到镀膜结束。本发明采用真空磁控溅射镀的方法在喷针表面制备的氮化物薄膜，显著提高了喷针表面的耐磨性，而且薄膜具有较好的结合力，不易脱落。
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公开(公告)号：CN110484859A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910942643.0
申请日：2019-09-30
Applicant: 辽宁科技大学
Abstract: 本发明涉及利用辉光放电低温等离子体法在钛合金表面渗氮的方法，包括以下步骤：1)TC4钛合金基体打磨抛光碱洗，酸洗；2)真空清洗：将基体悬挂于辉光低温等离子体渗氮设备的真空腔体中，抽真空，控制氩气流量，除多余空气；开照明，进一步除水蒸气；抽真空，真空腔体内加热，保温，进一步除水蒸气；真空腔体内通入氩气和氮气；脉冲等离子体清洗；3)渗氮；本发明方法简单易行，所需温度低且容易控制，不会对试样本身的组织及力学性能有影响。
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公开(公告)号：CN110246926A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910460532.6
申请日：2019-05-30
Applicant: 辽宁科技大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224 , H01L31/032 , C23C14/35 , C23C14/02
Abstract: 本发明涉及一种制备全无机钙钛矿太阳能电池的磁控溅射方法，包括以下步骤：对衬底进行预处理；在预处理的衬底表面磁控溅射电子传输层，之后继续采用磁控溅射设备使用铯锡合金靶，获得全无机钙钛矿材料；在钙钛矿材料层上磁控溅射太阳能电池空穴传输层；烘干，完成阴极金属电极的沉积，得到全无机钙钛矿太阳能电池。优点是：采用臭氧清洗与磁控溅射氩离子清洗相结合，进一步确保材料表面光洁度。钙钛矿吸收层采用磁控溅射方法，通入碘蒸气，与铯锡等金属离子充分接触，形成具有良好的表面形貌，形成大晶粒和无孔洞的钙钛矿薄膜。
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公开(公告)号：CN109023223A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201811018958.8
申请日：2018-09-03
Applicant: 辽宁科技大学
Abstract: 本发明的目的在于克服现有技术中发蓝工艺的缺陷，提供一种利用低温等离子体的金属表面发蓝方法，属于金属材料表面处理技术领域。该方法利用真空装备在一定气压下施加电场，使惰性气体和H2O分子发生辉光放电并离化，形成低温等离子体，产生具有活化作用的O2+离子。O2+离子受施加在钢材或钢件上的负电位吸引，轰击工件表面。活性O2+离子与钢工件表面铁化合，发生蓝化反应。制备的发蓝氧化膜致密、美观，成本低、操作简单，有利于工业化生产，无污染。本发明的制备方法实现了低温等离子体发蓝处理，应用范围广泛。
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