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公开(公告)号：CN116206937A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202111647956.7
申请日：2021-12-30
Applicant: 费勉仪器科技(南京)有限公司 , 费勉仪器科技(上海)有限公司
Abstract: 本公开提供了一种射频离子源，其特征在于，包括：射频激励装置，用于产生射频电场；离子发生装置，用于在射频电场的作用下产生等离子；延长管，包括：管体，用于容纳射频激励装置的至少一部分和离子发生装置的至少一部分，管体与离子发生装置真空密封连接；真空密封件，设置在管体上，用于将管体的至少一部分与离子发生装置密封在真空环境中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111952143A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010862235.7
申请日：2020-08-25
Applicant: 费勉仪器科技(南京)有限公司 , 费勉仪器科技(上海)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置，包括电镜分析仪器腔体，电镜分析仪器腔体分别与真空规、RGA分析器、QCM膜厚控制仪和抽气泵连接，电镜分析仪器腔体还连接有等离子发生器，等离子发生器的输出端与电镜分析仪器腔体之间的连接管道上设置有朗缪尔探针，用以测量等离子发生器放电时产生的等离子参数，等离子发生器输出端的顶部设置有漏气阀，等离子发生器的输入端通过射频线与射频源连接。该用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置可以根据需要清洗腔体的类型和尺寸选择合适的放电功率，从而达到清洗污染物的目的，适用性更强；采用射频源激励产生等离子体对腔体内部进行清洗，对清洗腔体的内壁不会产生损伤。
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公开(公告)号：CN216648217U
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202122604265.0
申请日：2021-10-28
Applicant: 费勉仪器科技(南京)有限公司 , 费勉仪器科技(上海)有限公司
Abstract: 本公开提供了一种可调制的射频离子源，其特征在于，包括：离子源，用于发射等离子体；真空调制装置，与所述离子源的输出端密封连接，包括：至少一个栅网，用于处理所述等离子体；至少一个真空电馈入件，与所述至少一个栅网连接，用于向所述至少一个栅网提供电压。
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公开(公告)号：CN212570921U
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202021791983.2
申请日：2020-08-25
Applicant: 费勉仪器科技(南京)有限公司 , 费勉仪器科技(上海)有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置，包括电镜分析仪器腔体，电镜分析仪器腔体分别与真空规、RGA分析器、QCM膜厚控制仪和抽气泵连接，电镜分析仪器腔体还连接有等离子发生器，等离子发生器的输出端与电镜分析仪器腔体之间的连接管道上设置有朗缪尔探针，用以测量等离子发生器放电时产生的等离子参数，等离子发生器输出端的顶部设置有漏气阀，等离子发生器的输入端通过射频线与射频源主体连接。该用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置可以根据需要清洗腔体的类型和尺寸选择合适的放电功率，从而达到清洗污染物的目的，适用性更强；采用射频源激励产生等离子体对腔体内部进行清洗，对清洗腔体的内壁不会产生损伤。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN216928483U
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202123379888.9
申请日：2021-12-30
Applicant: 费勉仪器科技(南京)有限公司 , 费勉仪器科技(上海)有限公司
Abstract: 本公开提供了一种射频离子源，其特征在于，包括：射频激励装置，用于产生射频电场；离子发生装置，用于在射频电场的作用下产生等离子；延长管，包括：管体，用于容纳射频激励装置的至少一部分和离子发生装置的至少一部分，管体与离子发生装置真空密封连接；真空密封件，设置在管体上，用于将管体的至少一部分与离子发生装置密封在真空环境中。
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公开(公告)号：CN213781983U
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202023252502.3
申请日：2020-12-29
Applicant: 费勉仪器科技(南京)有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种方形离子源，包括方形外壳，方形外壳的上部固定有前面板，前面板上设置有灯罩，方形外壳的下部固定有底板，底板的表面设置有调节杆，调节杆包括穿过底板并与其固定连接的固定壳、设置在固定壳内部并与其滑动设置的推动杆，方形外壳的内部中部设置有外壳固定环，外壳固定环与前面板通过支撑杆固定连接，外壳固定环与前面板之间设置有聚焦器固定环，且聚焦器固定环相对于支撑杆滑动设置，聚焦器固定环的内壁固定连接有聚焦器，推动杆与聚焦器固定连接。本实用新型前端增加固定板，紫外灯嵌入安装，安装更为牢固、聚焦器可前后调节、散热效果更好。
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