公开(公告)号：CN107957415A

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：CN201810012631.3

申请日：2018-01-05

Applicant: 贵州理工学院

Inventor： 唐安江 ,  张丹辉 ,  韦德举 ,  黄崇 ,  张妙鹤 ,  蒋东海 ,  魏娴 ,  唐石云 ,  仇伟 ,  吴承燕

IPC: G01N21/73

Abstract: 本发明公开了一种测定四氟化硅气体中杂质磷、硼、砷含量的方法，其特征在于：包括如下步骤；配制NaOH吸收液；将经浓硫酸吸收、含有沸石的浓硫酸吸收、浓硫酸吸收、浓硫酸吸收净化后的SiF4通入盛装前述NaOH吸收液的吸收瓶；控制SiF4气体的吸收量得到测试样品，并测定吸收的SiF4气体重量；用电感耦合等离子体原子发射光谱法分析气体中的磷、硼、砷含量。

公开(公告)号：CN108195780A

公开(公告)日：2018-06-22

申请号：CN201810012347.6

申请日：2018-01-05

Applicant: 贵州理工学院

Inventor： 韦德举 ,  张丹辉 ,  唐安江 ,  黄崇 ,  张妙鹤 ,  蒋东海 ,  魏娴 ,  唐石云 ,  仇伟 ,  吴承燕

IPC: G01N21/31

Abstract: 本发明公开了一种测定四氟化硅气体中杂质铅、铁、锌、铜、钙含量的方法，其特征在于：包括如下步骤；配制超纯水作为吸收液；将经浓硫酸吸收、含有沸石的浓硫酸吸收、浓硫酸吸收、浓硫酸吸收净化后的SiF4通入盛装前述超纯水的吸收瓶；控制SiF4气体的吸收量，并测定吸收的SiF4气体重量；用火焰原子吸收光谱法测定四氟化硅气体中杂质铅、铁、锌、铜、钙的含量。

公开(公告)号：CN114908336A

公开(公告)日：2022-08-16

申请号：CN202210094985.3

申请日：2022-01-26

Applicant: 贵州理工学院

Inventor： 韦德举 ,  唐安江 ,  王伟 ,  唐石云 ,  郭俊江 ,  陈丽军 ,  李忠 ,  张妙鹤 ,  蒋东海 ,  李雪梅

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/24

Abstract: 本发明公开了一种管式PECVD增强气相沉积制备微晶硅的工艺，将四氟化硅、氢气、保护气，通过脱氧管，除去其中的氧气。脱氧后的混合气体通入高真空石英管，在等离子功率50‑400W，加热炉温度100‑600度下，气相沉积得到微晶硅，产生的氟化氢、剩余四氟化硅气体通过碱液吸收洗涤。本发明利用磷矿伴生资源四氟化硅为原料，将大大提升磷矿伴生资源的有效利用，减少资源浪费。